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半導體、光子學及顯微成像行業需要穩定可靠的高性能解決方案，以實現納米級精密定位與對準。Physik Instrumente （PI）公司的PIHera?XY壓電陶瓷平臺，在緊湊空間內將亞納米級分辨率、高穩定性與靈活行程完美結合于一體。

文 / PI 普愛納米位移技術（上海）有限公司

1  XY壓電陶瓷平臺：穩定運動，優異精度

   需要納米級超精密運動與長行程？——PIHera?XY位移 平臺將長行程范圍與優異分辨率融合在緊湊型柔性鉸鏈設 計中。
· 高動態性能，助力高頻應用實現高效生產；
· 采用零游隙柔性鉸鏈導向機構，確保優異精度與長期 穩定性；
· 熱門型號快速交付，滿足緊急項目需求。

2  緊湊型定位系統，實現超精密運動與長期 穩定性能

半導體、光子學及顯微成像行業需要穩定可靠的高性 能解決方案，以實現納米級精密定位與對準。
Physik Instrumente（PI）公司的PIHera?XY壓電陶瓷 平臺，在緊湊空間內將亞納米級分辨率、高穩定性與靈活 行程完美結合。精選型號支持快速交付，配套控制器同步 供應。
· 超精密定位精度
基于高品質電容傳感器，實現亞納米級定位精度，兼 具高重復性與優異穩定性。零游隙柔性鉸鏈導向機構，實 現高導向精度;
· 靈活應用 快速交付
P-621.2CD、P-622.2CD、P-625.2CD及P-628.2CD型 號的XY壓電陶瓷平臺提供120μm至1000μm的行程范圍， 適應場景廣泛。例如在半導體與光子學領域，這些平臺可 用于干涉測量（以對準激光系統或光學部件）或晶圓檢 測。XY位移平臺也被廣泛應用于顯微成像領域，實現樣本 與物體的納米級精確定位與穩定；
· 交貨周期短，可確保時效性項目的高效執行。

3  PIHera? XY壓電陶瓷平臺常見問題

提問1：哪些參數使PIHera?成為高分辨納米級定位的 理想選擇？
A：PIHera?壓電陶瓷平臺提供低至0.1nm的分辨率， 定位精度可達0.02%。其高分辨率、亞納米級精度、優異可 靠性、長期穩定性與快速響應特性，使之成為嚴苛應用的理 想解決方案。
提問2：PIHera?壓電陶瓷平臺精選型號有哪些行程范 圍可選？
A： PIHera?壓電陶瓷平臺精選型號提供120μm至 1000μm的行程范圍，而PIHera壓電陶瓷平臺全系列產品的 行程范圍覆蓋50μm至1800μm，為廣泛應用場景提供多樣化 選擇。
提問3： PIHera?壓電陶瓷平臺是否適用于嚴苛環境 條件？
A：PIHera?壓電陶瓷平臺專為應對振動及溫度波動等 環境挑戰而設計，適用于半導體、光子學、生物技術和質量 檢測等多領域應用。
提問4：PIHera?壓電陶瓷平臺適用于哪些應用場景？
A：PIHera?壓電陶瓷平臺尤其適合需要超精密定位與 高分辨率的高精度應用場景，如光纖定位、測試流程、干涉 測量及顯微成像等。

                                                PIHera? XY 位移平臺：可變行程范圍，實現納米級精密定位與對準。