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 MOCVD設備可被用于LED、功率器件等多個領域，是LED芯片生產(chǎn)過程中最為關(guān)鍵的設備，其工藝、技術(shù)極為復雜。本文 簡要介紹了采用固高伺創(chuàng)GSHD系列伺服驅(qū)動器，配合磁流體電機的MOCVD設備控制系統(tǒng)。

文 / 固高伺創(chuàng)驅(qū)動技術(shù)（深圳）有限公司

     工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)革命以來，半導體成為了許多工業(yè)整機設備 的核心，普遍應用于計算機、消費電子、網(wǎng)絡通信、汽車電 子等重點領域。MOCVD設備可被用于LED、功率器件等多 個領域，是LED芯片生產(chǎn)過程中最為關(guān)鍵的設備。
     MOCVD全稱是Metal-Organic Chemical Vapour Deposition（金屬有機化學氣相沉積設備），是在基板上生 長半導體薄膜的一種技術(shù)。利用MOCVD技術(shù)，納米層可以 以極高的精度在晶圓表面沉積，每一層都具有可控的厚度， 形成具有特定光學和電學特性的覆蓋材料。MOCVD是用于 LED芯片和功率器件制造的關(guān)鍵工藝技術(shù)。經(jīng)過近二十年的 持續(xù)發(fā)展，MOCVD成為了目前半導體化合物材料制備的關(guān) 鍵技術(shù)之一，被廣泛應用于包括半導體器件、光學器件、氣 敏元件、超導薄膜材料、鐵電/鐵磁薄膜、高介電材料等多 種薄膜材料的制備。
     國產(chǎn)化MOCVD設備采用固高伺創(chuàng)自主研發(fā)的GSHD系 列高性能伺服驅(qū)動器，配合國產(chǎn)磁流體電機，可實現(xiàn)對進口 設備的原位替換，并提升工藝控制的易用性與安全性。

1 MOCVD設備對控制系統(tǒng)的要求

    通過Modbus TCP 協(xié)議發(fā)送指令到驅(qū)動器，支持 MODBUS-TCP報文結(jié)構(gòu)（由MBAP+PDU組成）。

? 事務標識符是報文的序列號，主要用于請求/響應匹 配，客戶端每發(fā)送一次新請求會自動遞增，服務器接收時會 把這個數(shù)據(jù)原封返回；

? 協(xié)議標識的固定值是Modbus-TCP標準協(xié)議標識的 0x0000；
? 長度是從單元標識符開始至報文結(jié)尾的字節(jié)數(shù)，單位 字節(jié)；
? 單元標識符為設備站號標識，用于多設備總線尋址， 驅(qū)動器配置方式是通過硬件撥碼開關(guān)來設定。
②PDU（幀結(jié)構(gòu)）如下：

2 MOCVD設備伺服控制系統(tǒng)技術(shù)方案

本系統(tǒng)采用固高伺創(chuàng)GSHD系列高性能伺服驅(qū)動器配合 磁流體電機，構(gòu)成高性能運動控制解決方案，主要技術(shù)特點 如下：

? 高速通信性能：支持Modbus通訊協(xié)議，確?？刂浦?令的實時傳輸，采用Modbus TCP控制功能，實現(xiàn)高速數(shù)據(jù) 交互；
? 精密運動控制：磁流體DD馬達高速運轉(zhuǎn)時速度波動 ±0.5rpm，具備優(yōu)化的加減速曲線算法，確保運動過程平穩(wěn)；
? 安全控制功能：具備無急停配置下的智能停機功能，支 持通過數(shù)字I/O界面靈活配置停機模式（保持使能/下使能）；
? 系統(tǒng)優(yōu)勢明顯：性能穩(wěn)定可靠，綜合性價比優(yōu)異；
? 多種應用場景：MOCVD設備、MiniLED設備。