Triamec納米級驅控一體機,實現精準控制

文:2024年第五期

  Triamec驅動器功率范圍覆蓋1~36kW,兼容EtherCAT和Trial-link總線。在機床和半導體行業,客戶采用現成的編碼器和電機軸配置,與Triamec驅動器配合工作可實現亞納米級精度。對于高動態應用,如快速刀具等,定位精度通常可達100nm。

  除了最高的速度和精度外,Triamec驅動器還提供更好的靈活性和可操作性 ,驅動器內的每個參數都可讀可寫,刷新頻率100kHZ,此外,驅動器內可運行實時C#應用程序。這一切使Triamec驅動器成為工業4.0的理想選擇。采用250nm空氣軸承編碼器和直線電機,TSD80-2使納米步距成為現實。在17.4kHz的測量帶寬下,1σ靜止噪音為140pm。2020年11月,在一次替換競爭對手的應用中,僅僅更換伺服驅動器,將機器的3σ位置偏差從20nm降至9nm。

  靜止噪音是驅動器信號處理和控制性能的參數。對于機床來說,運動系統的動態性能也很重要,例如:驅動器跟蹤理論路徑的準確度如何,它如何更好地控制加速度和加加速度而不產生共振,如何快速地響應干擾等等。Triamec驅動器在該領域取得了極大的突破。在金剛石車床上以每分鐘1000轉的速度生成振幅高達0.5mm的自由曲面,加速度為100m/s2,TSD80采用了更強大的實時處理器,使用額外的自適應算法,峰峰值偏差僅為±100nm。

  (1)100kHz電流環/位置環

  l 主動抑制共振;

  l 軸剛性更強;

  l 采用高階無源/有源濾波以及高頻采樣,噪音低,位置精度更高。

  (2)路徑規劃——10kHz更新周期

  l 可以直接定義jerk值,而不只是定義jerk時間02;

  l 10kHz路徑更新周期。

  (3)Sin/Cos編碼器反饋信號自動校驗

  l 降低噪音;

  l 定位精度更高;

  l 軸剛性更強。

  (4)3相PWM技術

  l 降低功率損耗;

  l 運行更平滑。

  (5)真正的納米步距——最高實現的1σ靜止噪音140pm

  (6)最小位置偏差(3σ)——位置誤差以300mm/s移動<<1um

驅動器

驅動器

  搭載納米級驅控一體機的高精度平臺

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