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ABL3600 aerotech
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1專為掃描顯微鏡/掩模/晶片檢測獨特應用設計
2雙軸,大孔,開放式結構
3非接觸直線編碼器反饋,精度高
4雙直線電機驅動XY軸
5所有軸全預加負載氣浮導軌(空氣軸承)
行程≤250mm
精度±1um
重復定位精度±0.20um
直線度±0.50um
平面度±1um
1氣浮導軌實現超平滑運動
2所有軸都預加載荷
3下面軸采用雙無刷直線伺服電機驅動
3行程達1mx1m
4非接觸直線編碼器(光柵)
5可選Z軸,隔振,機械底座和控制箱
6適用于高速拾取/放置,自動化裝配,視覺檢測,點膠機,高精度檢測．
Travel行程≤1000mm
Accuracy精度±2.0um
Load負載84kg
2所有軸都預加載荷
3下面軸采用雙無刷直線伺服電機驅動
3行程達1mx1m
4非接觸直線編碼器(光柵)
5可選Z軸,隔振,機械底座和控制箱
6適用于高速拾取/放置,自動化裝配,視覺檢測,點膠機,高精度檢測．
Travel行程≤1000mm
Accuracy精度±2.0um
Load負載84kg
1.直線平臺與旋轉平臺的高度集成化
2.ER筒夾系統使材料箝位自動化
3.可選夾緊裝置夾緊管
4先進的控制系統結構
5.單或雙主軸結構
6.可選擇濕切割
7.擁有兩項專利PatentNo.7,038,334PatentNo.7,105,956
2.ER筒夾系統使材料箝位自動化
3.可選夾緊裝置夾緊管
4先進的控制系統結構
5.單或雙主軸結構
6.可選擇濕切割
7.擁有兩項專利PatentNo.7,038,334PatentNo.7,105,956
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