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中國電科國家科技重大專項突破 300mm多線切割機研制成功

時間：2011-01-20

來源：網絡轉載

導語：中國電科承擔的國家重大科技專項——極大規模集成電路制造裝備與成套工藝專項課題之一的300mm多線切割機近日研制成功。該設備研制成功，打破了國內生產線上運行的12英寸多線切割機全部為進口設備現狀。

      中國電科承擔的國家重大科技專項——極大規模集成電路制造裝備與成套工藝專項課題之一的300mm多線切割機近日研制成功。該設備研制成功，打破了國內生產線上運行的12英寸多線切割機全部為進口設備現狀。該設備具有完全自主知識產權。目前，中國電科已經初步形成了601太陽能多線切割機、300mm多線切割機等系列化的多線切割設備，占據了國內線切割技術的制高點，滿足了不同行業、不同規模客戶的不同需要。

　　該項目是由中國電科自行設計、配套，克服了斷線、移動臂移動失位、鋼絲帶不進砂漿等實際問題，一次性切割出400多片滿足生產線要求的12英寸硅片。

　　300mm多線切割機技術可應用到太陽能電池行業，可一次性切割156mm×156mm的硅片5000—6000片。目前，中國電科已與全球最大的太陽能硅片企業簽訂戰略合作協議，進行大線鋸的研發，2011年6月前后完成商業機型的生產線工藝驗收。

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