轉塔式測試分選機技術要求(這里只介紹后兩種機型)
A常規編帶機技術要求
1. 16 - 24個工位/ 15°- 22.5°旋轉角度
2. 單工位轉動時間:18 - 22毫秒
3. 向下/向上Z軸的平均移動時間:10ms左右 / 10ms左右
4. 轉盤慣性:0.003 ~ 0.020 kg.m2之間
5. 測試時間:40 - 60毫秒
6. 產能:40 - 60 k UPH
7. 下壓軸重復精度: 5~10微米
B晶圓級編帶機技術要求
1. 24-32個工位/ 11.25°- 24°指數
2. 單工位轉動時間:35-50毫秒
3. 上下Z軸移動時間:8ms / 8ms
4. 轉盤慣性:0.02~0.5 kg.m2之間
5. 測試時間:50 - 100ms
6. 產能:15 - 30 k UPH
7. 軟著陸
轉塔式測試分選機ISMC解決方案
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