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堡盟 CX.XC 相機高效控溫檢測更可靠

文:堡盟集團 | 2023年第五期 (0) | (0)

       1 半導體生產(chǎn)精確與溫度相關

  在半導體生產(chǎn)中,相機保持熱穩(wěn)定性至關重要。例如, 在晶圓鍵合過程中,檢測系統(tǒng)必須確保每片晶圓的標記精準 對齊。這就要求視覺相機能夠執(zhí)行高精度圖像采集,因為其 測量公差必須保持在納米范圍內(nèi)。

  要獲得如此精確的數(shù)據(jù),相關相機部件在測量期間必須 保持熱穩(wěn)定性。

  堡盟設計的集成冷卻管擁有兩大決定性優(yōu)勢:它不僅能 確保相機所需的熱穩(wěn)定性,還能讓相機在幾分鐘內(nèi)冷卻到恒 定溫度,冷卻速度遠遠超過通常使用的外部冷卻設備。這種 主動冷卻功能可縮短數(shù)據(jù)采集的等待時間,從而節(jié)省用戶的 寶貴時間。

  2 性能強大,持續(xù)保持低溫

  與安裝在相機外殼外部的冷卻部件不同的是,集成冷卻 管正好位于產(chǎn)生熱量的地方:傳感器和鏡頭周圍。

  Part.1 集成主動冷卻功能

  集成主動冷卻功能的CX.XC系列相機,通過集成管路利用 2-3 bar的壓縮空氣或高達6 bar的液體(如水)進行冷卻。由于 能有效散熱,所以采集的圖像噪聲很低,缺陷像素很少,保證 在外殼溫度高達65°C的情況下也能提供可靠的圖像數(shù)據(jù)。

  得益于傳感器和鏡頭周圍的有效散熱,CX.XC相機成 功避免了熱像素漂移,所采集的圖像噪聲很低,缺陷像素很 少,并且具有高動態(tài)范圍。

  Part.2 滿足不同行業(yè)應用要求

  CX系列相機傳感器產(chǎn)品組合非常豐富, 在工業(yè)圖像處 理領域能夠滿足跨行業(yè)標準應用的要求。尺寸為29×29mm 的標準型CX相機搭載先進的Sony Pregius、Pregius S、 STARVIS、Polarsens以及onsemi PYTHON CMOS傳感 器,功能豐富。

圖片 109.png

  除此之外,為了滿足不同應用的要求,CX系列還有以下三種機型:

  ? 配備GigE Vision或USB3 Vision接口的相機;

  ? 偏振相機可捕捉物體表面完整的線性偏振狀態(tài);

  ? 帶全局快門、卷簾快門以及全局復位快門的相機。

  CX.XC相機可完成高度精確的圖像采集,確保晶圓鍵合過程中標記精準對齊。

  Part.3 卓越的圖像質(zhì)量和高幀率

  CX相機具有卓越的圖像質(zhì)量和高幀率——設置感興趣區(qū)域(ROI)后,幀率甚至遠高于1000 fps。借助曝光、增益、白平衡、色彩轉換等自動功能,相機可輕松集成到光照條件不斷變化的應用中。

  由于集成了冷卻管,堡盟CX.XC相機能為高溫環(huán)境下的應用或微米級測量任務提供高精度圖像。

  3 半導體2024復蘇,產(chǎn)能擴充帶來新機遇

  下半年經(jīng)濟逐步開始進入回暖期,根據(jù)行業(yè)預測2024年半導體行業(yè)將迎來大面積復蘇,出口和消費相關的玻璃及金屬加工制品行業(yè)也在逐步恢復之中,堡盟CX.XC相機也將伴隨行業(yè)的回升迎來自己發(fā)展的新機遇。

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