1 翻轉軸晶圓機器人-SR8220-1024-Rç³» 列

　　隨著國內半導體行業的快速發展，國內半導體裝備企 業對于半導體的制造工藝由后道工序不斷的向前道工序拓 展，對于搬運晶圓的結構需求類別日益新增。為了滿足多樣 化的市場需求，智贏在2023年推出了翻轉軸晶圓機器人。

　　SR8220-1024-R系列產品的特點包括：

　　? 采用伺服電機中空軸結構作為翻轉軸;

　　? 翻轉軸可根據要求調節速度;

　　? 伺服電機絕對值編碼器;

　　? 可以實現真空吸附、夾持、伯努利形式的翻轉;

　　? 結構靈活、單臂、雙臂翻轉都可以實現。

　　翻轉軸晶圓機器人SR8220-1024-R系列適合晶圓制 造的工藝段有：晶圓的涂膠、貼膜、激光打標、清洗、研 磨、去膠、顯影、刻蝕等。

　　2 EFEM專用晶圓機器人-SR8220系列

　　EFEM是半導體設備的前端模塊，是連接物料搬運系 統和硅片處理系統的橋梁，確保晶圓能在高潔凈環境下傳 輸到工藝、檢測模塊，是半導體設備的重要配件。EFEM 模塊設備配備大氣晶圓搬運機器人， 安裝在框架中， 框 架配備有FFU(風扇過濾器單元)和安裝在前面的裝載端 口。智贏提供的晶圓搬運機器人SR8220系列是EFEM模塊內的關鍵部件。

　　智贏提供的大氣晶圓搬運機器人SR8220系列保證晶 片的快速、穩定搬運; 滿足Class1的潔凈等級;可以實 現不同品類Whole wafer、Frame wafer、Hoop ring wafer的搬運。

　　另外智贏對于EFEM內部結構機器人還可以提供走行 軸結構、手臂翻轉結構、伯努利輸運結構滿足多種使用工 況的要求。

　　SR8220產品特點如下：

　　? 采用2ARM構造增大了搬運范圍;

　　? 實現晶圓的高速傳輸和雙片同取放;

　　? 確保了超高的直線精度;

　　? ARM和 Z軸 的 各 種 組 合 以 滿 足 對 應 各 種 裝 置 的 需 求;

　　? 可同時適用于4-12英寸的晶圓搬送。

　　為了解決晶圓搬運機器人對晶圓制成工藝段的不同 要求，智贏自主研發設計生產了多種類別機械夾手， 如陶 瓷手、鋁合金夾手、碳纖維等， 滿足裸晶圓吸附、鐵環夾 持、子母環搬運等多種制造工藝。另外， 智贏針對客戶特 殊工況需要，也可以定制機械夾手來滿足生產需要。

　　SR8220系列晶圓機器人可應用于大氣環境半導 體晶圓高速搬運，適用于各種半導 體設備、E FE M、 SORTER、涂膠顯影設備、清晰設備、檢測設備等。

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