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　　集成電路 (IC) 制造中的材料運輸系統可確保半導體設施內材料的精確移動。半導體制造的復雜性要求在受控潔凈室中無縫傳輸 晶圓、化學品和工具。新一代半導體中間件智能物流系統正在開發中， 旨在優化物流效率。昆山智能裝備研究院開創智慧物流系統， 注重自主探索和技術開發。該研究院將自身定位于前沿開發研究和示范平臺以展示復雜半導體制造領域的技術能力。

　　背景

　　半導體中間件制造涵蓋硅晶圓、面板、PC 等產業，面臨 產品規模擴張、物流設備有限、國內智能物流技術落后等挑戰。 半導體自動化物料控制的演變跨越三個階段：機械運輸、無人 物料運輸和自動化物料控制。日本大福等公司引入了自動化物 料控制以實現智能車輛管理。 國內半導體行業嚴重依賴進口 物流系統，體現了對卓越技術的依賴。昆山智能裝備研究院以 自主研發為目標， 打破國外技術壟斷， 推動本土替代， 增強自 給自足。這一依賴促進創新、彈性和競爭力， 半導體中間件智 能物流系統的開發就體現了這一點。

　　組成

　　分類轉運移動機器人 (STV) 在半導體制造中發揮著關鍵

　　作用，具有優越的承載能力、車身穩定性和獨特的轉向性能。 STV 的承載能力從 0.5T 到 3T，通過有限元分析進行結構優化。 其四輪配置、靈活的穩定性和工程分析可解決振動問題， 從而 提高可靠性。實時評估確保精確控制， 同時通過有軌電車供電 系統維持可持續電力。先進的網絡通信可實現無縫漫游， 強調 STV 的穩定性。專為蜂窩網絡量身定制的無線橋接技術提供了 靈活性。STV 調度系統優化了貨物效率， 研究得出了最佳路線 的數學模型，鞏固了其在推進半導體制造智能物流方面的作用。

　　市場

　　物料搬運系統在涉及各個半導體行業的集成電路 (IC) 制 造中至關重要。它們在半導體制造設施中發揮著關鍵作用， 確 保晶圓、化學品和工具的精確傳輸。除了半導體之外， 這些系統在電子制造、微電子組裝、印刷電路板 (PCB) 制造、太陽 能電池板生產、醫療設備制造、航空航天、汽車電子、電信設 備和消費電子制造中也是不可或缺的。它們的廣泛應用凸顯了 它們對 IC 制造的根本貢獻，提高了效率、清潔度和準確性， 這對于生產當代電子設備中不可或缺的半導體元件至關重要。

　　特色

　　研究強調物流自動化、柔性調度的有效性和效率，重點 關注高效、經濟、節能、準確、穩定。分揀轉運移動機器人 (STV) 配備了適用于彎曲軌道的自適應彎曲機構， 可確保車輛在各種 操作過程中的穩定性。調度系統設計靈活適應生產計劃， 以持 續穩定的通訊系統和易于操作的精確定位控制系統為支撐。其 他顯著的特點包括大負載的背負式運輸、啟動和停止時的穩定 性、先進的轉彎技術、可持續的供電系統、精確的控制技術以 及用于多車輛操作的穩定的信號通信系統。這些功能的集大成， 有助于開發整體智能物流優化調度系統， 并建立半導體中間智 能物流系統技術研究和應用平臺。

　　指標

　　STV 運輸機器人 1 代機研制驗證了整體的設計指標，完 成了基礎技術積累。發現機械部件穩定性問題、車身重量和尺 寸問題、標準化、模塊化不足以及停止定位精度問題。由此 2 代機研制定位在 1T 的運輸需求上，在 1 代機的設計成果上進行了產品化模塊化的優化，具體參數如下表。

　　總結

　　智能物流系統研究平臺針對半導體中間件制造的挑戰， 強調克服產品規模擴張和物流設備有限等問題。它專注于半導 體制造中的分揀轉運移動機器人(STV) ，強調其優化的承載 能力和穩定性。該平臺強調了物料搬運系統在各個半導體行業 中的關鍵作用，強調了它們在 IC 制造中的重要性，強調了物 流自動化的效率， 優先考慮高效、經濟、節能、準確、穩定等 特性。自主研發的技術打破了國外技術壟斷， 促進了半導體制 造的創新和競爭力。該平臺旨在構建多行業智慧物流技術研究 和產品孵化，不斷演化和升級其能力。