電容微位移傳感器是通過改變電容兩極板間的電荷實現測量的。常用的方法有三種：變極板間距離的變極距型；改變極板面積的變面積型；還有就是改變介質介電常數的變介質型。現在所介紹的是變極距型的電容微位移傳感器。

壓電微位移、振動臺，電子顯微鏡微調，天文望遠鏡鏡片微調，精密微位移測量等。

該電容微位移傳感器是一種非接觸式的電容位移傳感器；兩個傳感器板形成一個平行板電容器，每個傳感器可用在兩個不用的測量范圍；納米分辨率；零磁滯。

量程20～1250μm；

分辨率<0.1nm；零磁滯；

線性最高0.02%；

頻帶可調：50～5000Hz；靈敏度可調；

真空兼容選項；