電渦流式位移傳感器測量棱鏡的轉動幅度

在某種光學儀器上需要用到一個轉動達100Hz的棱鏡來反射光束，要求精度為10nm，但是為了防止光污染，所以不建議采用一般的激光傳感器。根據客戶的精度和環境要求我們推薦客戶使用電渦流式位移傳感器KD5100。

基于電渦流式位移傳感器KD5100棱鏡的轉動幅度測量應用

       根據實際應用，將棱鏡安裝在金屬鋁架上，而作為差動測量的兩個探頭安裝如下示意圖所示：

用電渦流傳感器KD5100測量棱鏡的旋轉幅度

    然后在現場會有一個驅動棱鏡擺動的電機，電機的工作距離探頭為100mm，需要認真考慮電機所產生的磁場對探頭的影響。

我們推薦的電渦流式位移傳感器KD5100主要參數如下所示：

測量范圍：0.089mm

靜態分辨率：0.1nm（1x10-7mm）

測量頻率：22KHz

供電：±15VDC@55mA （建議配廠家電源）

輸出：±10VDC max

探頭工作溫度： -52℃~105℃

詳情請訪問：

http://www.51sensors.com/prod_detail_785.html

http://www.51sensors.com

英國真尚有集團

深圳市真尚有科技有限公司

電話：0755 - 26528100 / 26528011/26528012

傳真：0755-26528210/26435640