由國際半導體設備及材料協(xié)會(SEMI)主辦的國際半導體上海展SEMICON CHINA 2011與慕尼黑光電展同期在上海新國際博覽中心舉行。SEMICON China2011展會是SEMI，SEMICON China，F(xiàn)PD China及Intersolar China / SOLARCON Chin三大旗艦展覽同臺展出，代表全球半導體、平板顯示和太陽能光伏行業(yè)最高技術水準和商業(yè)機遇。粗略統(tǒng)計有超過4萬名專業(yè)人士參觀了展覽會。

新松機器人潔凈自動化裝備展臺36平方米，主要展出大氣機械手晶圓搬運平臺（潔凈度達到Class1），真空機械手晶圓搬運平臺（真空度達到最高1x10-6 Pa），側立柱大氣晶圓搬運機械手，大負載真空搬運機械手。尤其是本次真空機械手的展出，在展會引起強烈的反響，不僅吸引了國內(nèi)同行業(yè)的關注，還引起了國外美國，韓國，日本，臺灣的同行業(yè)的關注，多家客戶有購買意向。新松機器人潔凈自動化裝備產(chǎn)業(yè)的展出展品完全擁有自主知識產(chǎn)權和核心技術，技術水平國內(nèi)領先，達到國際先進水平，標志突破國外技術封鎖，中國能制造自己的半導體關鍵設備。

中國半導體產(chǎn)業(yè)預計在未來五年內(nèi)迎來下一個快速發(fā)展的“黃金時期”。在中國政府的“十二五”規(guī)劃中(2011-2015)，明確提出要建立和加強中國半導體產(chǎn)業(yè)從設計到制造的整體供應鏈，以滿足中國市場蓬勃發(fā)展的需求，新松公司裝備制造的角度出發(fā)，以當前中國市場應用為導向，為半導體制造提供強有力的服務和技術支撐。

潔凈自動化裝備產(chǎn)業(yè)是不僅國內(nèi)對自動化潔凈傳輸系統(tǒng)有著穩(wěn)步增長的市場需求，全球平板顯示潔凈自動化裝備的需求在未來三年的總和將超過1500億元，因此投資前景十分廣闊，創(chuàng)造了巨大的經(jīng)濟效益和社會效益。主要應用領域有IC裝備、平板顯示、電子、生物制藥和食品等行業(yè)，能夠為客戶提供完整的技術解決方案和交鑰匙工程。

潔凈自動化裝備產(chǎn)業(yè)目前應用主要客戶四川長虹、安徽鑫昊、北方微電子、中國科學院微電子研究所、中國科學院半導體研究所、中科信（北京）、清華大學、沈科儀、沈陽芯源等多家單位。本次展出，有上百家客戶與新松公司進行了業(yè)務洽談。

新松公司的新興主導產(chǎn)業(yè)之一。潔凈自動化裝備產(chǎn)業(yè)產(chǎn)品主要有潔凈搬運機器人系統(tǒng)和潔凈物流自動輸送設備。潔凈搬運機器人系統(tǒng)主要有IC裝備大氣機械手系列產(chǎn)品、IC裝備真空機械手系列產(chǎn)品、FPD基板潔凈搬運垂直多關節(jié)機器人系列產(chǎn)品（可搬運2mX2.4m尺寸平板）、FPD基板潔凈搬運水平多關節(jié)機器人系列產(chǎn)品（可搬運2mX2.4m尺寸平板）、潔凈鍍膜搬運機械手、潔凈裝箱機械手、半導體設備前端模塊設備（EFEM）、晶圓自動對準裝置（Aligner）。IC裝備大氣機械手系列產(chǎn)品主要有單臂大氣機械手、雙臂大氣機械手、雙末端執(zhí)行器的大氣機械手、末端執(zhí)行器可側向翻轉大氣機械手產(chǎn)品、側立柱大氣機械手產(chǎn)品。IC裝備真空機械手系列產(chǎn)品主要直驅型真空機械手、磁流體型真空機械手、對稱連桿型真空機械手、SCARA型真空機械手。

潔凈物流自動輸送設備主要生產(chǎn)線自動物料搬運設備（AMHS）、FPD潔凈物流傳輸設備、FPD前后基板機器人投入設備。生產(chǎn)線自動物料搬運設備（AMHS）主要包括潔凈Stocker、潔凈軌道系統(tǒng)、天車（OHS）、天井式搬運車（OHT）、潔凈RGV、潔凈RGV及外接裝載設備（LoadPort或Cassette Loading）。FPD潔凈物流輸送設備主要單元包括：直線傳輸單元（C/V）、翻轉單元（Diverter）、換向單元（Turn table）、對中單元（Centering）、提升單元（Up down lift）、機器人抓取單元（Pin-up）、緩沖單元（Buffer）、傾斜檢查單元（Tilt）、冷卻（Cooling）單元等單元組成。

FPD前后基板機器人投入設備主要包括基板搬運潔凈搬運機器人、基板捆包旋轉裝置、取紙機械手、機器人抓取（Pin-up）單元組成。

早在2005年，新松公司就開始在IC裝備投放科技力量進行攻關，經(jīng)過多年的研發(fā)和創(chuàng)新，已經(jīng)研發(fā)出應用于半導體行業(yè)的核心部件潔凈（真空）機械手、基板搬運機器人等產(chǎn)品，并批量投放市場，市場反響良好。在“十二五”開局之年，新松公司重裝參展SEMICON China 2011 半導體展，展示了現(xiàn)階段新松公司在半導體裝備制造業(yè)的整體實力。

毋庸置疑，中國的半導體時代正向我們走來，新松公司將領先的技術、優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品攜手中外廠商，共同迎接這個時代的到來。