隨著國內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)的迅猛增長，集成電路電子材料需求也快速得到釋放。電子材料產(chǎn)業(yè)處于集成電路制造環(huán)節(jié)的上游，對集成電路產(chǎn)品質(zhì)量、價格等起到?jīng)Q定性作用。然而，我國半導體電子材料只能滿足20％的內(nèi)需，且大多為中低端。

以“信息化帶動工業(yè)化，電子技術促進產(chǎn)業(yè)升級”為主題的第15屆中國電子展即將在上海新國際博覽中心拉開帷幕。展會前夕，與非網(wǎng)記者對即將參展的睿寧高新技術材料（贛州）有限公司（以下簡稱：睿寧）董事長兼總裁袁永文博士進行了采訪。

袁永文博士在回國創(chuàng)業(yè)前曾就職于美國阿貢國家重點實驗室、英特爾、東曹。袁永文博士通過一個簡單的例子闡述了選擇江西贛州創(chuàng)業(yè)的初衷：

鎢作為集成電路重要電子材料，在集成電路存儲器中的應用尤為廣泛。當下，我國集中盡量發(fā)展存儲器產(chǎn)業(yè)，對于鎢電子材料而言必將是一場紅利。鎢基電子材料是睿寧重點開發(fā)優(yōu)勢材料產(chǎn)品之一，一方面源于贛南有“世界鎢都”之稱，產(chǎn)業(yè)資源當?shù)鼗梢越档瓦\營成本；另一方面，睿寧通過自身技術優(yōu)勢實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)高端化，帶來更高產(chǎn)業(yè)價值，為家鄉(xiāng)做出貢獻。

半導體濺射靶材，拉小與國際差距

全球范圍內(nèi)，濺射靶材電子材料產(chǎn)業(yè)鏈各環(huán)節(jié)參與企業(yè)數(shù)量基本呈金字塔型分布，高純?yōu)R射靶材制造環(huán)節(jié)技術門檻高、設備投資大，具有規(guī)模化生產(chǎn)能力的企業(yè)數(shù)量相對較少。濺射靶材最高端的應用是在超大規(guī)模集成電路芯片制造領域，這個領域主要是美國和日本的少數(shù)公司從事相關業(yè)務，長期以來是一個被跨國公司壟斷的行業(yè)。

袁永文博士介紹，半導體濺射靶材國內(nèi)與國際差距主要表現(xiàn)為兩點：

差距一：濺射靶材上游材料（主要在超高純原材料方面）

差距二：服務于集成電路先進制程的新產(chǎn)品

針對以上兩大差距，袁永文博士表示，睿寧都有自身優(yōu)勢：技術與工藝覆蓋從原材料提純、加工、生產(chǎn)制造到成品靶材的全過程，擁有垂直產(chǎn)業(yè)鏈；在集成電路先進制程前道工藝所需要的新材料產(chǎn)品方面已經(jīng)取得一定成績。

據(jù)介紹，睿寧在濺射靶材技術方面已處于國內(nèi)領先水平，且集中精力突破此領域的瓶頸。袁永文博士也提出了睿寧的目標，要在3－5年內(nèi)趕超國際先進水平，成為領軍型濺射靶材供應商。

創(chuàng)新至上，保持技術領先性

目前，睿寧已獲得20項集成電路芯片電子材料核心制造技術國內(nèi)外專利，其中14項是美國或國際授權專利。

袁永文博士表示：“睿寧每年的研發(fā)投入占總營收30％。與此同時，睿寧以項目的方式推進研發(fā)進程，比如投資10．8億元的‘年產(chǎn)10萬件22nm以下硅基及有色金屬基PVD芯片薄膜電子材料’項目。該項目致力于為22nm以下集成電路先進制程服務，并做了前瞻性的布局，覆蓋到制程10nm以下電子材料產(chǎn)品的開發(fā)。”

盡管工藝制程更新中大部分材料會有一定的連續(xù)性，但不同制程對同一種材料會有不同要求，比如純度。同時，先進制程前道工藝對新材料的需求表現(xiàn)的尤為突出。袁永文博士表示，在新電子材料方面的突破是睿寧的優(yōu)勢所在，比如新一代稀土基材料。

如今，以第三代半導體材料為基礎的新興技術正迅速崛起，搶占第三代半導體材料技術的高地也愈發(fā)激烈。當談及第三代半導體產(chǎn)業(yè)，袁永文博士表示，睿寧在此方面的布局主要為大功率器件內(nèi)部組成材料，而且已經(jīng)有陶瓷基藍寶石（氧化鋁）基體生產(chǎn)線，只要有市場需求，就會迅速切入到第三代半導體材料領域。

盡管隨著技術的發(fā)展，第三代半導體應用會變得越來越廣泛，但硅作為半導體產(chǎn)業(yè)的基礎，在未來十幾年內(nèi)仍將是最主流的材料與技術。袁永文博士介紹了睿寧在硅基及硅晶圓片方面的技術儲備。目前，硅晶圓主流尺寸為8英寸、12英寸，全球極少數(shù)企業(yè)可以做到18英寸，睿寧便是其中之一。與此同時，睿寧提供舊硅晶圓片再利用的服務，贛州工廠一部分8寸線服務于此業(yè)務。袁永文博士表示，提高再利用晶圓片質(zhì)量、擴展其應用領域?qū)⑹前l(fā)展的重要方向。

睿寧在國內(nèi)與國外都設有研發(fā)基地，贛州研發(fā)基地主要服務于生產(chǎn)，而美國研發(fā)基地主要為了保持與國際領先技術接軌，比如在先進制程方面。袁永文博士反復強調(diào)：睿寧的理念是創(chuàng)新至上，保持技術領先性至關重要。