MEMS器件最早的批量實際應用源于汽車電子產業，也被認為是MEMS傳感器的第一波應用高潮。但隨著近年來消費電子領域的創新不斷涌現，消費電子已經成為MEMS最大的應用市場，市場規模超過了15億美元，并以每年近20%的速度增長。
作為MEMS傳感器的第二波應用高潮，MEMS傳感器在消費電子中的應用包括運動/墜落檢測、導航數據補償、游戲/人機界面、電源管理、GPS增強/盲區消除、速度/距離計數、其他體育和保健應用等等。其中陀螺儀是增長最快的部分，已經成為加速度計后的第二大應用產品。
醫療保健被稱為MEMS的第三波應用，同時也被MEMS行業稱為高價值市場。隨著人口老齡化和醫療保健費用的提升，各種遠距離監護和高精度治療設備將越來越多地被引入。
近段時間MEMS產業發展的重大新聞，莫過新標準的出臺。MIG組織攜同英特爾、高通等眾多一線半導體廠商一起推出了MEMS芯片產品的一個產品參數規格，即《標準化傳感器性能參數規格（StandardizedSensorPerformanceParameterDefinitions）》，作為向MEMS傳感器產品性能標準邁近的重要一步，這一規格的制定也吸引了眾多MEMS廠商的參與。
業內人士表示，在移動計算生態系統內，傳感器將繼續推動新的用戶體驗和平臺使用方式，但系統開發人員常常為縮短上市時間承受很大壓力，使用不同方法定義關鍵參數也給產品選型帶來難度（有時甚至會產生誤導）。該規格旨在召集業界重要的領先企業，包括平臺廠商、操作系統提供商、傳感器廠商，共同制訂一套可相互接受的、標準化的傳感器性能參數定義規范，這是在移動終端、平板電腦、個人電腦上推動可管理型傳感器解決方案計劃的第一步。”
此外，最新規格只是對傳感器的一些基本參數規格進行規范和定義，與此同時也保留了產品的差異化和創新性。對意法半導體而言，這也是最新規范充分尊重廠商的創新性的表現。而通過采用統一的參數規格規范，將為客戶縮短產品上市時間，降低平臺/系統驗證負擔，簡化器件采購流程提供便利。
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