現如今，眾多科技術型設備都在向集成化智能化發展，傳統只具備單一功能產品已不能滿足時代的發展需要，傳感器也一樣，智能化及多功能將是主要發展趨勢。
MEMS傳感器與傳感器相比具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產、易于集成和實現智能化的特點。目前，已研制出包括微型壓力傳感器、加速度傳感器、微噴墨打印頭、數字微鏡顯示器在內的幾百種產品，其中MEMS傳感器占相當大的比例。
受益于我國汽車電子、新型數字消費電子和醫療電子等產業的快速發展，國內市場對傳感器的需求呈現出快速增長的態勢。據中國電子信息產業發展研究院預測，未來五年國內傳感器市場年復合增長率將超30%。汽車、物流、礦業探勘、煤礦安監、安防、RFID標簽卡領域的傳感器市場增長較快。總體來看，中國傳感器市場前景廣闊。
在此背景下，以MEMS為代表的智能傳感器技術得到了快速的發展。
MEMS技術在未來的發展主要表現在以下幾個方面：第一，微型化的同時降低功耗。將會出現微米甚至納米級別的微型器件，同時降低功耗；第二，微型化的同時提高精度，將MEMS加速度計做到石英加速度計的噪聲特性，保證MEMS陀螺儀小體積的同時獲得光纖陀螺儀的零偏穩定性，且可提供遠優于光纖陀螺儀的抗沖擊特性；第三，集成化及智能化趨勢，即MEMS與IC的集成制造技術及多參量MEMS傳感器的集成制造技術得到發展，以及在集成化基礎上使得信號檢測具有一定的自動化。
2013年MEMS傳感器市場的需求依然十分旺盛，這既有傳統汽車和消費類市場的需求，也有新興的工業、醫療、通信、測井、軍工類的需求。室內導航應用會是促進新型MEMS氣壓計在2013起量的一個驅動因素；而隨著人們對錄音、視頻通話等的質量要求越來越高，高信噪比的MEMS麥克風會用在越來越多的手機或平板電腦中。隨著高溫MEMS器件通過越來越多的客戶驗證，在測井等極端工作領域，也會看到越來越多的MEMS產品。而物聯網和家庭醫療會是繼汽車和消費類應用領域后，又一個殺手級的應用，其潛在的市場和增長趨勢會像今天的智能手機一樣。但由于目前該市場還缺乏統一的標準和客戶的認知度，預計還需要2年左右的時間才會起量。
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