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　　1 引線鍵合4大難題

　　引線鍵合是半導體封裝過程中一道關鍵工藝，鍵合的質量 好壞直接關系到整個封裝器件的性能和可靠性，據了解，半導 體器件的失效約有1/4～1/3是由芯片互連引起的，因此保障 引線鍵合質量對半導體器件長期使用的可靠性至關重要。影響 引線鍵合質量的因素有很多，具體與伺服控制相關的主要是以 下這4個方面。

　　? 超高加速度下，易產生較大偏差

　　由于焊線均為4mm以內的小線段，要快速達到目標速度 則需要非常大的加速度。可一旦加速度過快，焊接容易產生偏 差，難以確保產品的良品率;

　　? 龍門結構運動控制的不穩定性

　　龍門結構的運動精度，受到電機調諧的精度、龍門運動時 的同步精度以及龍門尋零重復的精度等因素影響，可能造成最 終動作的精度不足;

　　? 受齒槽力影響，產生跟隨誤差

　　由于直線電機定子的結構決定，直線電機在運動過程中， 會受齒槽力(Cogging Torque)的影響，產生周期性變化的跟隨 誤差;

　　? 需保持恒定壓力來焊接芯片

　　壓力不穩可能會對芯片造成一定的損傷或影響，如產生微 裂紋、變形等，這些都可能會導致芯片不良品率升高，甚至損 壞芯片。

　　2 解決方案

　　Elmo 伺服運動控制系統解決方案可以輕松解決上述難 題，該方案將Elmo最新一代的Maestro控制系統與Platinum 系列伺服驅動器的相結合，融合Elmo分布式龍門控制解決方 案，即在伺服驅動器之間采用專有的串行通信通道，消除了過 多的現場總線網絡負載。一個軸在邏輯上定義為龍門主軸，從 從軸檢索所有必需的信息，計算全部MIMO控制規律，同時保持系統在驅動器PWM層完全同步，提升龍門和整體系統的穩 定性。

　　? Platinum系列伺服驅動器

　　Platinum系列可以實現智能運動混合、疊加運動、目標 位置的實時更新、1D、2D、3D高分辨率誤差映射、ECAM、 智能齒輪傳動、高階多項式運動段和軌跡構建等功能。超快的 EtherCAT網絡總線和處理速度，更短的循環時間和更高的協同 性，抖動幾乎可以忽略不計，近乎零延遲。

　　經過認證的安全功能(如安全扭矩關斷等)，故障率極低， MTBF(平均故障時間)長，保障系統整體的穩定性和安全性。

　　同時，使用Elmo的EASII 軟件及其高級的誤差補償功能， 可以幫助用戶創建一個同步誤差補償表格，動態補償龍門同步 偏差。經過誤差補償，龍門雙驅運動時刻保持同步和平滑，極 大地減少電機的內部摩擦和空氣中的雜質，從而極大地提升穩 定性和準確性。

　　? Maestro控制器

　　Elmo伺服驅動器搭配運動控制器，可以更好地實現多軸 先進的運動混合、運動疊加、實時更新目標位置、1D/2D/3D 高分辨率誤差校正、凸輪、智能齒輪比、高次多項式運動項和 軌跡建立、PVT、PT和樣條曲線等，確保整體運動以極高的精 度，極大的穩定性和快速靈敏的反應速度進行。

　　高效且通過認證的EtherCAT網絡，循環周期時間降至 100μs,帶來了快速而精確的機器運動控制。