半導體設備國產化創新之作 ——水星運控平臺

文:文 / 深圳市克洛諾斯科技有限公司2024年第六期

導語:深圳市克洛諾斯科技有限公司(以下:簡稱克洛諾斯科技),作為一家有著16年直線電機精密運動平臺經驗的國產廠家, 主營產品為納米級運功平臺和微米級運動平臺??寺逯Z斯科技近期受邀北上參加第十二屆半導體設備與核心部件展,攜帶了兩款 前沿科技產品——35nm氣浮運動平臺與水星運控平臺,受到了現場觀眾的高度好評。

  35nm氣浮運動平臺是克洛諾斯科技第三代氣浮平臺, 歷經第一代500nm、第二代50nm升級而成,適用于晶圓光 刻、檢測以及計量。該氣浮平臺采用龍門雙驅結構,搭載壓 力-真空空氣軸承和超高精密編碼器,動力部分采用無鐵芯直線 電機降低波動,最大可對應300mm晶圓(也就是12寸晶圓)。

  水星運控平臺與木星、天王星同列,屬于克洛諾斯科技 恒星級高端運動平臺,專為半導體高端制造設備國產化潛心 研發而成。滿級的水星運控平臺共有7個軸,XY軸+旋轉軸+ 頂升軸+調平調焦軸+精動軸,可以實現上下前后左右旋轉等 方位的精準位移,適用于半導體制造中的晶圓量檢測,具體 的如疊片測量、關鍵尺寸量測、薄膜量測等。

  水星高端平臺,國產時代來臨

  眾所周知,過去國產半導體設備的主力市場在于后端封 測,比如檢測設備多為封裝階段的AOI視覺檢測,而在半導 體前端制程中的量檢測相對較少。究其原因,一是那時候工 藝技術還不成熟,硬件及軟件都無法攻克;二是專業人才的 缺乏,無法有效定點突破;三是關鍵材料或零部件的“卡脖 子”,被動受制于人。如今經過幾十年的沉淀,中國半導體 設備廠家不但積累了大量的人才與經驗,還全面向半導體制 程各個方向突破,并取得了卓效成績。

  成立于2015年的克洛諾斯科技,就是一家專注于精密 運動控制平臺的技術型企業,在納米運動控制與微米運動控 制領域有著一十六年的經驗。水星運動控制平臺,總行程達 475*410mm,可滿足12寸及以下的晶圓量檢測使用。水星 擁有極佳的動態性能,加速度達20m/s2,同時最高速度達到1.25m/s,定位精度高達±1μm,并擁有優異的雙向重復 精度,可滿足晶圓量檢測設備的短行程短穩定需求。

  水星運控平臺卡盤面帶真空接口,還可選配導軌粉塵抽 吸功能、個性化信號以及壓縮空氣管等,可滿足ISO2潔凈等 級環境需求。為了進一步提升晶圓量檢測UPH,克洛諾斯還 可為水星加裝靜音系列主動避震,在特定頻率及工況下隔振 效果能達到95%以上,每移動10μm整定窗口±40nm時整定 時間就可控制在40ms內,并且位置穩定性在2KHZ時能達到 ±2nm,這意味著水星運動控制平臺能極大程度上降低工作 時間,有效提升設備的UPH值。

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