PI 應(yīng)用 生產(chǎn)級別晶圓探測和光子學(xué)測試
文:文 / 普愛納米位移技術(shù)(上海)有限公司2024年第五期
導(dǎo)語:硅光芯片作為一種新興技術(shù),能夠在很大程度上彌補(bǔ)集成電路微電子技術(shù)在數(shù)據(jù)傳輸和能效方面的瓶頸,但這些技術(shù)給測 試和封裝過程帶來了很多挑戰(zhàn),本文簡要介紹了PI針對生產(chǎn)級別晶圓探測和光子學(xué)測試提供的優(yōu)秀運(yùn)動控制解決方案。
硅光子學(xué)在推動諸如量子計(jì)算、納米衛(wèi)星、光探測和 測距(激光雷達(dá))以及光學(xué)邏輯等尖端技術(shù)的發(fā)展方面起著 至關(guān)重要的作用。此外,硅光子學(xué)的應(yīng)用還能夠提高數(shù)據(jù)處 理、存儲和傳輸方面的性能。這些技術(shù)給測試和封裝過程帶 來了很多挑戰(zhàn),特別是在具有高潔凈度要求的高產(chǎn)量生產(chǎn)環(huán) 境中光纖器件的對準(zhǔn)方面。
該運(yùn)動解決方案的主要特點(diǎn)包括:
? 生產(chǎn)級別自動化光子學(xué)對準(zhǔn);
? 生產(chǎn)效率提高百倍;
? 全天候運(yùn)行,性能可靠;
? 適用于極其潔凈的環(huán)境;
? 降低擁有成本;
? 優(yōu)化任何品質(zhì)因數(shù)。
1 XYZ軸:光纖到光纖或光纖到波導(dǎo)對準(zhǔn)
?無摩擦、免維護(hù)空氣軸承設(shè)計(jì),用于全天候高占空比應(yīng)用;
? 音圈直接驅(qū)動電機(jī),可實(shí)現(xiàn)平穩(wěn)運(yùn)行、高動態(tài)和快速步 進(jìn)與穩(wěn)定;
? 集成直線光柵尺,可實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確定位;
? 創(chuàng)新緊湊的XYZ設(shè)計(jì),節(jié)省集成空間;
? 集成Z軸平衡裝置,可實(shí)現(xiàn)垂直操作,同時將對平臺外 形的影響降至最低;
? 主要平臺:帶空氣軸承的A-142 PIglide音圈線性平 臺、A-143 PIglide小型線性空氣軸承平臺。
2 θZ軸:光子器件的精密旋轉(zhuǎn)定位(可選)
? 高精度且可重復(fù)的360 旋轉(zhuǎn),無空回;
? 采用直接驅(qū)動電機(jī)技術(shù),運(yùn)行平穩(wěn)而精密,無齒槽效應(yīng);
? 高動態(tài)無刷力矩電機(jī);
? 高精度絕對或增量編碼器選配件;
? 低外形設(shè)計(jì),節(jié)省集成空間。
3 用戶友好且靈活的自動化控制
? 采用基于ACS的集成對準(zhǔn)算法的高性能工業(yè)控制器;
? 專有固件提供用于第一束光檢測的快速區(qū)域掃描算法, 以及用于峰值耦合的梯度和質(zhì)心算法;
? 軟件支持常見操作系統(tǒng)以及多種編程語言(包括 MATLAB、Python、C#和NI LabVIEW);
? 主要產(chǎn)品:A-81x PIglide運(yùn)動控制器。
PI提供了基于不同電機(jī)、導(dǎo)向和傳感器技術(shù)的先進(jìn)運(yùn) 動解決方案,可實(shí)現(xiàn)全天候的快速自動化運(yùn)行。這些解決 方案輔以獨(dú)特的專有對準(zhǔn)算法,可并行優(yōu)化任何品質(zhì)因數(shù) (FoM),從而將生產(chǎn)效率提高百倍以上。
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