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　　1 晶圓傳送裝置

　　晶圓傳送裝置里，最常見的裝置為機(jī)械傳送臂，此機(jī) 械結(jié)構(gòu)能快速準(zhǔn)確地將晶圓在傳送室和處理室之間完成抓 取和放置。

　　對(duì)比傳統(tǒng)的機(jī)械傳動(dòng)方式，諧波傳動(dòng)技術(shù)在晶圓機(jī) 械傳送臂中，利用柔輪在工作中不斷變形的特點(diǎn)，可以實(shí) 現(xiàn)更大范圍的傳動(dòng)比變化，但這種特點(diǎn)由于轉(zhuǎn)動(dòng)慣量大， 導(dǎo)致啟動(dòng)的力矩也變大，經(jīng)常產(chǎn)生額外的能量損耗和熱損 失，同時(shí)機(jī)械臂末端的精度也容易受到影響。

　　對(duì)晶圓搬運(yùn)機(jī)器人來說，機(jī)械臂的末端精度將決定其 精準(zhǔn)的操控能力，確保晶圓在搬運(yùn)過程不受損傷和污染， 避免碰撞和傾倒，因此機(jī)械臂的末端精度極為重要。

　　2 橫川直驅(qū)運(yùn)動(dòng)控制解決方案

　　針對(duì)諧波傳動(dòng)的不足，橫川直驅(qū)運(yùn)動(dòng)控制專家將自主研發(fā)的DDR馬達(dá)DMFI120-009RE5和DMFI118-016RE5， 分別用于兩個(gè)機(jī)械臂和機(jī)器人整體的旋轉(zhuǎn)上，兩款電機(jī)采 用單圈絕對(duì)值編碼器，上電后無需回零，避免兩個(gè)機(jī)械臂 干涉，憑借經(jīng)濟(jì)、高效、高速、靜音、精準(zhǔn)、節(jié)能等特 性，成功替換諧波結(jié)構(gòu)，幫助客戶在生產(chǎn)效率、成品質(zhì)量 上實(shí)現(xiàn)質(zhì)的有效提升。

　　3 設(shè)備收益

　　通過采用橫川直驅(qū)運(yùn)動(dòng)控制解決方案對(duì)晶圓搬運(yùn) 機(jī)器人的優(yōu)化，設(shè)備叉取晶圓片機(jī)械臂末端的精度可達(dá) ±0.05mm內(nèi)，且回轉(zhuǎn)半徑小，在精準(zhǔn)感知晶圓位置進(jìn)行搬 運(yùn)操作的同時(shí)，能大幅提升空間使用率。

　　由于沒有齒輪減速機(jī)的中間傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，DDR馬達(dá)的 使用完美地減少了使用諧波傳動(dòng)結(jié)構(gòu)所產(chǎn)生大振動(dòng)和機(jī)械 噪音，電機(jī)具有更強(qiáng)地起步能力地同時(shí)，能量損失也能減 少，從而提高生產(chǎn)效率。

　　另外，橫川機(jī)器人產(chǎn)出的DDR馬達(dá)憑借國產(chǎn)自主可控 技術(shù)，能夠保持絕對(duì)的成本價(jià)優(yōu)勢，解決了目前國內(nèi)諧波 傳動(dòng)結(jié)構(gòu)仍需依賴高價(jià)進(jìn)口的問題。