ZLDS/N-100納米級激光位移傳感器
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美國納米級激光位移傳感器
ZLDS/N-100納米級激光位移傳感器:
傳感器結構:
傳感器頭:最大直徑15.7mm,安裝面處直徑12.7mm,長58.7mm;電纜長460mm;
控制器尺寸98x32x13mm,輸出9針插座。
特點:
-高分辨率,可替代電容式傳感器;
-對電磁場不敏感,可用于電機等強磁場測振;
-寬頻帶,可測高頻振動體;
-對被測體表面要求低,反射率4~100%均能用;
指標:
量程:100µm;量程間距3mm;分辨率:15nm;重復性:±75nm;沒修正線性誤差:±5µm;
帶寬:100KHZ;供電:±12VDC

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