超精密電渦流位移傳感器 有埃米級分辨率電渦流位移傳感器SMU9000、SMT9700, 特點： -超高分辨率，1埃 -信噪音比：1PPM -精確度0.1%，通過計算機校準； -頻響：0～10KHZ 其典型應用： 光學平臺位置測量；半導體和光器件的研磨閉環(huán)測控；半導體模板對齊系統(tǒng)定位；半導體蒸鍍系統(tǒng)定位；電子顯微鏡垂直軸定位；原子顯微鏡垂直軸定位；磁懸浮軸控制；部件研磨加工的精確定位；鏡片定位控制；物質(zhì)收縮測試測量；機械結(jié)構(gòu)變形探測與測試；高精度照排3D位置測量；讀寫頭制造，研磨板定位；有納米級高穩(wěn)定差動電渦流位移傳感器KD5100 特點： -每通道兩個精確匹配的傳感器使分辨率達到1納米 -超耐熱，長時間穩(wěn)定：5x10E-6 英寸/月或更好 -有耐低溫傳感器 -非常高的靈敏度，最高到394 mV/µm 典型應用： -差動測量： 如激光反射鏡聚焦平臺定位。 -低溫應用： 20N傳感器有一個專門的低溫應用版本，已證明其在70°K的液態(tài)氮中有最優(yōu)性能。好幾個空間項目在4°K的液態(tài)氦環(huán)境中使用了此傳感器。 -真空應用： 傳感器和KD-5100的電子器件都已用在10～6托的真空應用中了。 -超高精度宇航應用： 已制造出MIL-H-38534。所有電子器件均采用符合MIL-SPEC標準的。KD-5100在戰(zhàn)斗環(huán)境下的MTBF超過55,000小時，太空飛行環(huán)境下超過238,000小時。 小尺寸 （只有 2 x 2.12 x 0.75英寸） ：可應用于空間狹小的場合。 -中繼鏡片激光定位（RME）： RME演示了一束從地球發(fā)射到450公里軌道上人造衛(wèi)星的激光可以被精確地反射到直徑3米的目標地面。 -半導體圓晶片制造中的超高精確激光聚焦位置、關(guān)鍵尺寸和對齊控制： -精確望遠鏡定位 -磁懸浮軸定位