返回首頁 
新松真空機械手SRBZ820C-SMSX/G
企業信息
同類優質產品
更多+
產品分類
產品新聞
技術文章
產品介紹
機械手采用耐高溫手指有隔熱設計，可用于放置高溫托盤，短時間耐高溫300℃以上。指部、腕部靈巧的設計理念降低了接觸面的表面粗糙度，加大熱阻。同時具有噪音小、振動小、運行平穩、精度高等特點。具有更靈敏的碰撞保護功能，有效保護機械手和客戶晶圓。全新的軌跡規劃，提高運動節拍，提高了用戶產能。在半導體前道高端設備中廣泛應用，推動了國內半導體產業鏈的進步，有效的支撐了國內設備商的發展。
參數
| 結構形式Mechanical Structure | 柱坐標型/SCARA型 Cylindrical Coordinate/SCARA | |
|---|---|---|
| 密封方式Seal way | 磁流體密封Ferro-Fluidic Sealing | |
| 自由度數DOF | 2 | |
| 負載Payload | 名稱name | 托盤Tray |
| 直徑diameter | Φ300mm | |
| 重量weight | 1.5kg | |
最大運動范圍 Moving Range | R軸（mm）R-Axis | 立柱中心至R軸最大伸展處被搬運物體中心距離820 Distance from pillar center to the moving objects center of the biggest R-axis stretching is R820mm |
| θ軸（°）θ-Axis | 360 | |
全行程最小時間 Minimum running time | R軸（s）R-Axis | 2.5 |
| θ軸（s）θ-Axis | 3.5 | |
重復定位精度 Repeatability | θ軸（°）θ-Axis | ±0.01（3σ） |
| R軸（mm）R-Axis | ±0.1（3σ） | |
重量Weight | 機械手本體Main-body | 41kg |
| 控制器Controller | 15kg | |
| 耐真空度Base Pressure (Pa) | 10--5Pa | |
| 漏率leak rate | <1*10E-8Mbar*L/s | |
| 碰撞保護Collision Protect Function | 盤片和機械手無損傷Disc and robot without damage | |
| 隔熱設計 | 指部隔熱塊 | |
| 承載溫度 | 300℃ | |
以上信息由企業自行提供，信息內容的真實性、準確性和合法性由相關企業負責，中國傳動網對此不承擔任何保證責任。 溫馨提示：為規避購買風險，建議您在購買產品前務必確認供應商資質及產品質量。
推薦產品
更多+
網站客服
粵公網安備 44030402000946號