磁流體密封、網絡化控制器、MCBF大于1000萬次，SEMI認證S2，F47，迎合個性化設計具有手臂長度、自由度可選，手指及接口用戶可定制的特征，耐高溫、耐腐蝕，動態糾偏和碰撞保護功能。

簡介

采用先進的直驅電機驅動技術，具有噪音小、振動小、運行平穩、精度高等特點。具有更靈敏的碰撞保護功能，有效保護機械手和客戶晶圓。全新的軌跡規劃，提高運動節拍，提高了用戶產能。安全區保護等功能有效地提高了產品的安全等級。在半導體前道高端設備中廣泛應用，對設備可靠性要求高。靈活的本地化、可定制化服務，快速響應的售后服務，以及敦實的技術實力，是我們的主要競爭力。推動了國內半導體產業鏈的進步，有效的支撐了國內設備商的發展。