VULCANO XYZ3T H QuiET堆疊平臺

是由Vulcana XY系統和一個XYZ3T H多功能模塊組成的高精度多軸系統，該平臺也集成了QuiET主動避震系統。

產品亮點：

模塊化設計，結構緊湊

納米級的位置穩定性

高動態性能：2.5 g，1.5 m/s

運動和穩定時間短

兼容ISO 1級超凈車間

±0.1°以上的搖擺和傾斜修正范圍

帶雙Z軸，內置Z軸重力補償

優異的Z軸直線度

更高Z軸重復精度和抖動性能

可修正工作臺平面度

卡盤面帶真空接口

產品性能：軸搖擺和傾斜粗大Z軸旋轉軸