真空直線模組 高低溫絲桿模組 真空機器人

特點

* 環境溫度從 -196℃ (-320.8℉) to +200℃ (+392℉)
* 真空度 10-7Pa (10-9mbar)

產品主要

* 真空室
* 高溫室
* 高潔凈度環境

選型編碼

* 在 50～800mm行程內都可以定制

絲桿模組滑臺高溫低溫真空模組

型號：VC60、VC90、VC120
行程：50-800（接受定制）
導程：2-35
重復定位精度：±0.05mm
蕞高轉速：1000rpm

真空模組，可在10-7PA的真空環境下運行，耐溫達200℃，真空模組的設計首要考慮機構和材料。此系列產品大部分組件采用不銹鋼加工或熱膨脹系數相當的并且出氣率低的材料。此系列產品主要應用于真空室。高溫室，高潔凈度環境。

特點：

一體化設計，可靠易用

標準化設計制造60，90，,120三種規格，可定制其他規格

工作環境溫度-196℃至200℃

適用真空度10-7PA

模塊化設計

免維護設計

承載，導向，驅動一體

高承載，高精度，高速度

簡單易用，可靠性高，以保證高效率