國內一些設備制造水平參差不齊,還有許多技術提升工作要做。
我國多晶硅的主流生產工藝是改良西門子工藝,少數幾個廠家用硅烷法,但產量很少。改良西門子法的核心技術的有四個環節:原料的制備和提純、還原、氫化、尾氣干法回收及副產物的回收利用。
原料制備已能夠滿足多晶硅規模化生產,原料提純一般采用提純塔,如高效填料塔、高效篩板塔等,與國外的技術不相上下,但因產品質量的穩定性與原料提純有直接關系的,能源消耗也有關系,所以還有一些需要改進的地方。
還原技術與裝備,目前國內有自主研發的12對棒、18對棒、24對棒還原爐和正在研發的36對棒和48對棒還原爐,技術已與世界同步,甚至達到更先進的水平。還原爐的供電和供料系統都有中國特色,還原電耗國內最好結果達到45kwh/kg,單爐的產量達到7000kg以上;進口還原爐與消化吸收再創新的技術與裝置,也有同樣效果。