12月28日,廣州增芯科技有限公司舉行首臺生產設備搬入儀式。本次搬入設備是由中微半導體設備(上海)有限公司制造的Primo D-RIE?刻蝕設備反應臺,也是增芯12英寸智能傳感器及特色工藝晶圓生產線項目搬入的首臺生產設備。
該設備的搬入,是繼項目“920封頂”以來的重要交付,標志著增芯項目一期工程土建和機電安裝已經完工,項目由建設期正式轉入運營前的生產準備階段。
此前,9月20日,廣州增城智能傳感器產業園發布暨增芯項目封頂活動在增城開發區增芯產業項目園舉行。增芯項目,全稱為增芯12英寸先進智能傳感器及特色工藝晶圓制造量產線項目。
增芯項目占地面積達370畝,分兩期建設。2022年12月,包括主廠房在內的一期項目宣布動工,到今年9月20日主體結構封頂,用時僅9個月零6天。
當時,增芯科技總經理張亮透露,項目目前已轉入機電安裝階段,計劃今年12月開始設備搬入及裝機,預計2024年6月通線,2025年12月達成月產能2萬片目標。
據了解,增芯12英寸先進MEMS傳感器及特色工藝晶圓制造量產線新建項目,一期總投資70億元,項目建成后將具備年產24萬片12英寸晶圓的生產能力,產品主要應用于汽車電子、物聯網、類工業、消費電子等領域,是相關領域產品性能表現的決定因素之一。
資料顯示,增芯科技是一家致力于建設國內第一家專業定制化12英寸智能傳感器芯片制造企業,以力學、聲學、微流控、生物等傳感器件及配套ASIC芯片為主要產品。