XPlanar

　　助力實現無磨損晶圓輸送

　　XPlanar 系統是一款集傳統輸送技術諸多優點于一身的平面磁懸浮產品輸送系統，可在半導體設備制造中為在一個工具內以及在幾臺設備之間處理晶圓及其它產品提供了各種全新的選擇：XPlanar 系統的動子/托盤運動是非接觸式的，不會產生機械磨損。

　　針對特定應用布局機器設備

　　XPlanar 系統為用戶根據自己的個性化需求布局機器設備提供了很大的自由度。XPlanar 平面模塊可以自由拼接成任意幾何形狀的傳輸平面，比如矩形、圓形或樹狀結構，幾乎無任何限制。機器設備的布局可以完全根據用戶要求的功能設計，XPlanar 系統的大小可以完全根據用戶的要求調整，幫助用戶避免額外的費用支出，節省寶貴的生產空間。

　　柔性無磨損工件輸送系統

　　動子托盤按照單獨定義的路線輸送每個工件。各個生產步驟可以根據需要相互銜接，使得固定的工位序列成為過去。每個動子托盤的運動相互間可以完全解耦：產品可以相互超車，并且可以在不影響生產流程的情況下從產品流中撤出或進入等候區(例如，用于冷卻)。由于在一個系統中提供了不同尺寸的動子托盤，因此可以同時生產不同規格的產品。XPlanar 系統具有卓越的動態性能和機器人的高精度，是處理不同批量大小和產品規格變化的高效定位系統。動子托盤根據為每個產品單獨定義的復雜 XY 幾何圖形運動。

　　大幅減少清潔和維護工作量

　　XPlanar 系統的一大特點就是它能夠大幅減少清潔和維護工作量。與傳統的輸送系統相比，XPlanar 不需要使用導軌、滑輪或潤滑系統。系統所需的定期維護間隔時間大幅減少，從而可以顯著提高系統的可用性。系統的另外一個優勢是：所有平面模塊和動子托盤表面都非常光滑，沒有死角。為了在特別苛刻的環境中使用，XPlanar 平面模塊的表面可以選擇玻璃、不銹鋼或者塑料材質，方便清潔，無需使用任何清潔劑，也不會影響動子托盤的懸浮性能。