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受美制裁后,俄羅斯竟要開造先進制程光刻機

時間:2022-04-12

來源:21ic電子網

導語:被美國全方位芯片制裁后,俄羅斯竟然要開造先進制程光刻機了!

  是的,就是那個芯片制造中最最最核心的設備(甚至沒有之一),全球僅一家公司ASML有能力生產最先進EUV級別,一臺能賣好幾億元、核心技術被美國壟斷的光刻機。

  而且,這次俄羅斯的計劃,看起來有點像那么回事——

  有人、有錢、有目標。

  人,項目由有著蘇聯硅谷中心之稱、以微電子專業見長的俄羅斯莫斯科電子技術學院 (MIET)承接。

  錢,首期投資6.7億盧布資金。

  目標,挑戰當前最先進的EUV(極紫外)級別。

  但即便如此,因為制造光刻機登天之難、以及俄羅斯的資源儲備,網友們對這個消息并不太信:

  確定不是個玩笑?!

  巧的是,就在這消息放出前一天,俄羅斯最大芯片制造商Mikron被美國制裁。更早之前,俄羅斯為數不多的其他幾家芯片廠也已經全方位被制裁。

  所以現在的俄羅斯芯片,到底什么水平?真的能有底氣搞出先進制程光刻機嗎?

  無掩膜X射線光刻機?

  我們先來看看計劃本身的難度如何。

  據俄媒報道,俄羅斯工貿部委托MIET開發“一種無掩膜X射線光刻機”,跟日常我們提到的EUV光刻機還有點不同。

  首先的不同在于光源的選擇。

  一種是極紫外光線,波長在13.5nm;而X射線波長介于0.01nm到10nm之間。

  按照現有的常見思路,光刻機是特定波長的光透過用來放大的掩膜,再通過透鏡的縮小,將集成電路圖精確“投影”在硅片上。

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