竹科負責人王永壯表示,竹科昨天下午發生0.05秒到1秒之間的電壓下降(C級壓降)事故,竹科內廠商測得壓降幅度介于79%至95%之間,半導體制程的敏感機臺大多有不斷電系統(UPS)保護,其余機臺則會跳脫電力,啟動保護程序。
業界人士指出,半導體廠發生壓降時,黃光區有電壓穩定裝置,不致發生晶圓報廢情況,但薄膜、擴散、 蝕刻區的風險較大,可以說是全面報廢。
以昨天壓降幅度介于79%至95%之間來看,等于是「斷電」,即便時間不到1秒鐘,仍會對廠商造成不一影響。
臺電新桃供電區營運處表示,昨天下午的電力事故,并非臺電的輸電系統造成,而是竹科內特高壓(161kV)用戶的電力設備故障所導致。臺電舉例指出,這類電力事故影響所及,有如在池塘投入石頭,漾起一圈圈的漣漪,愈接近石頭落水處的區域,壓降幅度愈大。
據了解,昨天壓降意外起因于位于竹科三期的力積電主變壓器跳脫故障,導致發生電壓下降波及竹科新竹園區及新竹市東區。甚致跨越頭前溪,影響到新竹縣的竹北臺元科技園區、竹科生醫園區,乃至于位于湖口的新竹工業區。
對此,力積電回應,壓降時間相當短暫、部分較敏感的生產機臺有跳掉,正在查明原因。但跳電時間短暫、機臺也快速重啟,對生產影響有限。
臺積電昨指出,公司部分廠區昨下午受電力壓降影響,壓降發生原因尚待厘清。廠內同仁無安全疑慮,實際影響確認中。聯電表示,生產營運未受影響。
世界先進也坦言,旗下新竹廠區有部分機臺因壓降而受影響,目前已依標準作業程序進行檢查與復原,對于公司生產營運的影響正在評估中。