今年國(guó)內(nèi)外經(jīng)濟(jì)增速開(kāi)始放緩，加之中美貿(mào)易戰(zhàn)的升級(jí)，國(guó)內(nèi)制造業(yè)受到波及，直驅(qū)行業(yè)也未能“幸免”，所謂危機(jī)也是生機(jī)，上海微泓自動(dòng)化設(shè)備有限公司（簡(jiǎn)稱：微泓）砥礪前行，對(duì)未來(lái)直驅(qū)市場(chǎng)充滿信心。近期，本刊實(shí)地走訪了微泓自動(dòng)化總裁劉品寬博士，他詳細(xì)介紹了目前公司在直驅(qū)市場(chǎng)的技術(shù)開(kāi)發(fā)動(dòng)向以及未來(lái)的發(fā)展規(guī)劃。

上海微泓自動(dòng)化設(shè)備有限公司總裁劉品寬博士

提供潔凈、真空的專業(yè)化半導(dǎo)體裝備方案

微泓是一家致力于直驅(qū)（Direct-Drive）回轉(zhuǎn)定位平臺(tái)產(chǎn)品研發(fā)和應(yīng)用為一體的企業(yè)，加強(qiáng)大學(xué)科研院所的工程能力，與大學(xué)科研院所共同承擔(dān)和完成國(guó)家大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝國(guó)家科技重大專項(xiàng)（簡(jiǎn)稱“02專項(xiàng)”），是微泓公司成立的初衷，這也使得微泓成為了較早進(jìn)入半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的國(guó)內(nèi)企業(yè)之一。

上海是中國(guó)高端制造領(lǐng)域發(fā)展較快的區(qū)域，這為微泓提供了很好的發(fā)展機(jī)遇。劉品寬表示，“我們是一家真正在半導(dǎo)體裝備制造行業(yè)有著多年實(shí)際開(kāi)發(fā)經(jīng)驗(yàn)的國(guó)內(nèi)公司，具備齊全的檢測(cè)設(shè)備和擁有核心的研發(fā)技術(shù)團(tuán)隊(duì)。目前與多家上海半導(dǎo)體裝備企業(yè)有緊密的合作關(guān)系，包括光刻機(jī)、刻蝕機(jī)、CVD化學(xué)薄膜沉積設(shè)備等等。半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)潔凈、真空環(huán)境以及生產(chǎn)工藝要求極為嚴(yán)苛，有一定的準(zhǔn)入‘門檻’，通過(guò)這些年來(lái)的開(kāi)發(fā)積累，微泓自動(dòng)化的直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)DDR產(chǎn)品在國(guó)內(nèi)光刻機(jī)設(shè)備上有所應(yīng)用。

為了滿足半導(dǎo)體制造對(duì)潔凈度的高要求，微泓建立了100平米的萬(wàn)級(jí)潔凈間，用于潔凈環(huán)境下的精密裝配、調(diào)試與測(cè)試；并配有激光干涉儀、主軸分析儀等精密測(cè)試儀器，滿足系統(tǒng)設(shè)計(jì)過(guò)程中對(duì)定制系統(tǒng)的標(biāo)定、精度測(cè)試和運(yùn)動(dòng)特性的測(cè)試要求；特別是還開(kāi)發(fā)出了一套專門針對(duì)運(yùn)動(dòng)定位系統(tǒng)的運(yùn)動(dòng)時(shí)不同敏感位置的顆粒檢測(cè)與潔凈度評(píng)估系統(tǒng)，令產(chǎn)品能夠完全符合客戶對(duì)高端應(yīng)用領(lǐng)域的需求。

微泓開(kāi)發(fā)的潔凈環(huán)境使用的多維精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)和多維潔凈機(jī)械手，采用電纜管理系統(tǒng)，可以降低顆粒物的排放量；專屬潤(rùn)滑劑用于潔凈環(huán)境使用，不含碳?xì)浠衔铮粚?duì)材料表面進(jìn)行特殊處理，使用潔凈室級(jí)包裝；專門的制造工藝，使運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)達(dá)到最高的系統(tǒng)級(jí)潔凈度。

其中，多維精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)可根據(jù)客戶的應(yīng)用需求，為客戶量身定制多維運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，目前已有的成熟方案包括12吋晶圓的光學(xué)關(guān)鍵尺寸，薄膜厚度，光刻疊對(duì)測(cè)量中的四維精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)、12吋晶圓缺陷在線檢測(cè)的四維精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)、球面和非球面表面測(cè)量中的四維精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)等，這些技術(shù)解決方案可以應(yīng)用在對(duì)平臺(tái)性能具有極高要求的半導(dǎo)體制造相關(guān)領(lǐng)域。

拓展產(chǎn)品線，加強(qiáng)市場(chǎng)化

微泓從2014年左右開(kāi)始面向市場(chǎng)推出直驅(qū)系列產(chǎn)品，并把高精度直驅(qū)DDR轉(zhuǎn)臺(tái)技術(shù)定位為公司的重點(diǎn)開(kāi)發(fā)方向，目前在直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)技術(shù)方面擁有10多項(xiàng)授權(quán)國(guó)家發(fā)明專利。從2017年開(kāi)始，微泓根據(jù)市場(chǎng)環(huán)境做出調(diào)整，向中低端應(yīng)用市場(chǎng)輻射。

擴(kuò)展中低端應(yīng)用市場(chǎng)，微泓從三個(gè)方面著手，首先，是擴(kuò)大產(chǎn)品線。微泓目前已開(kāi)發(fā)出自己的產(chǎn)品線，包括運(yùn)動(dòng)控制、伺服驅(qū)動(dòng)、測(cè)量傳感、控制軟件、定位機(jī)構(gòu)等關(guān)鍵部件，以及包括從納米級(jí)定位，到微米級(jí)定位和微-納結(jié)合的運(yùn)動(dòng)與定位控制系統(tǒng)，這些標(biāo)準(zhǔn)化和定制化產(chǎn)品線能滿足用戶對(duì)精密運(yùn)動(dòng)與定位控制的需求，且微泓的伺服電機(jī)、伺服驅(qū)動(dòng)器以及相應(yīng)的精度補(bǔ)償與標(biāo)定算法完全是自主研發(fā)技術(shù)。微泓的產(chǎn)品在3C電子、平板顯示、激光精加工、半導(dǎo)體和泛半導(dǎo)體制造裝備（如：光刻機(jī)轉(zhuǎn)臺(tái)）等一些精密加工行業(yè)得到廣泛應(yīng)用。

目前微泓主要推出的DDR直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)包括機(jī)械軸承支承系列（SR系列）和氣浮軸承支承系列（GR系列），具有高轉(zhuǎn)速、低傳動(dòng)慣量、良好的加速性能優(yōu)勢(shì)，易實(shí)現(xiàn)高精度、高動(dòng)態(tài)性能的定位過(guò)程。從定位精度（0.25~30arc-sec）和輸出力矩（0.2~300N·m）兩個(gè)維度，精確定位用戶的應(yīng)用，給予用戶更大的選擇范圍。同時(shí)還可以將直接驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)電機(jī)直接耦合或連接到從動(dòng)負(fù)載上，從而實(shí)現(xiàn)與負(fù)載的剛性耦合，消除了與傳動(dòng)皮帶和齒輪箱等相關(guān)的問(wèn)題，為用戶帶來(lái)很好的解決方案。

其次，微泓著手做高性價(jià)比的產(chǎn)品，通過(guò)加強(qiáng)核心零部件（如光柵編碼器）的國(guó)產(chǎn)化率，來(lái)降低整體系統(tǒng)的制造成本，為不同的行業(yè)用戶提供具有綜合性價(jià)比優(yōu)勢(shì)的解決方案。在嚴(yán)格按照行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，保證產(chǎn)品的質(zhì)量的同時(shí)，強(qiáng)化與客戶建立聯(lián)系，增強(qiáng)用戶粘性，了解客戶的真實(shí)需求，為客戶提供個(gè)性化和專業(yè)化的售后服務(wù)。

此外，針對(duì)不同的細(xì)分應(yīng)用領(lǐng)域，做定制化開(kāi)發(fā)。微泓具備ETO定制小批量制造與測(cè)試能力，目前已形成完善的ETO開(kāi)發(fā)管理流程，包括前期的客戶咨詢、需求分析、方案及報(bào)價(jià)、簽訂合同、項(xiàng)目小組成立、詳細(xì)設(shè)計(jì)、加工制造、售后維護(hù)、測(cè)試與用戶考核。根據(jù)客戶設(shè)備生產(chǎn)的新要求，有針對(duì)性地在設(shè)備上定制開(kāi)發(fā)所需要的功能，可以為不同的應(yīng)用場(chǎng)合提供差異化的技術(shù)方案，滿足中低端市場(chǎng)不同用戶的場(chǎng)景需求。

“目前我們工作的重點(diǎn)是結(jié)合各種不同的實(shí)際應(yīng)用環(huán)境，運(yùn)用我們?cè)贒DR轉(zhuǎn)臺(tái)技術(shù)開(kāi)發(fā)的優(yōu)勢(shì)，去替代國(guó)外高端品牌。在和客戶的合作上，我們雙方會(huì)集中技術(shù)、資金等優(yōu)勢(shì)資源，共同開(kāi)發(fā)出更符合客戶生產(chǎn)應(yīng)用需求的方案，解決客戶面臨的難點(diǎn)。”劉品寬補(bǔ)充道。

近年來(lái)，微泓已在華東市場(chǎng)上嶄露頭角，按照公司的發(fā)展規(guī)劃，華南地區(qū)將是微泓未來(lái)主力開(kāi)發(fā)的重點(diǎn)區(qū)域市場(chǎng)。正如劉品寬所言，華南地區(qū)是中國(guó)高科技電子產(chǎn)業(yè)的聚集地，已形成門類齊全、綜合配套能力和產(chǎn)品開(kāi)發(fā)能力較強(qiáng)的外向型現(xiàn)代工業(yè)體系，發(fā)展極具前瞻性。微泓會(huì)緊跟時(shí)代步伐，采用“腳踏實(shí)地，扎實(shí)基礎(chǔ)”的戰(zhàn)略，全面布局企業(yè)發(fā)展道路，持續(xù)擴(kuò)大微泓在中國(guó)自動(dòng)化市場(chǎng)上的品牌影響力。