川崎重工業將在日本國內新建用于半導體制造的機器人工廠。新工廠投資金額為100億日元，將在西神戶工廠(神戶市)內建設。工廠建成后，用于半導體制造的機器人的產能將增加60%。由于物聯網(IoT)越來越受到關注，川崎重工業認為傳感器等半導體的需求會隨之擴大，將加強供給體制。
川崎重工業將增產在無塵車間內搬運半導體晶圓的無塵機器人。把現在每月800臺的產能提高60%，提高至每月1300臺。目前已經建設了2棟廠房，總建筑面積約2.6萬平方米。今后還將導入制造無塵機器人所需的無塵車間等，預定工廠2018年3月底前投入運行。
目前川崎重工業在明石工廠(兵庫縣明石市)生產無塵機器人，今后將轉移到制造油壓設備的西神戶工廠，以擴大產能。這將成為川崎重工業在日本國內的第2個機器人工廠。
川崎重工業是全球最大無塵機器人制造商，按數量計算約占全球份額50％。由于半導體廠商不斷從汽車和家電行業接到訂單，投資意愿正在提高，該公司的無塵機器人2016年度銷售額有望創歷史新高。
隨著半導體需求增加，半導體制造設備相關企業開始進行設備投資。堀場制作所將投入約22億日元，加強熊本縣的工廠，將用于半導體制造設備的零部件產能增加70%。此外，荏原也決定投入約68億日元，增產半導體制造相關設備。
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