據報道，新加坡科技研究局（AgencyforScience,TechnologyandResearch，以下簡稱A*STAR）微電子研究院（InstituteofMicroelectronics，以下簡稱IME）發起成立了MEMS第三聯盟（MEMSConsortiumIII）來開發前沿MEMS技術。此舉將促進MEMS傳感器獲得更好的性能、更高的能效和更小的外形。

MEMS第三聯盟成員包括行業領先的應用材料（AppliedMaterials）、Coventor、臺達電子（DeltaElectronics）、格羅方德半導體（GLOBALFOUNDRIES）、應美盛（InvenSense）、SPTSTechnologies、StandingEgg、日本真空技術株式會社（ULVAC）、維易科（Veeco）及另一家電子公司。憑借IME在MEMS傳感器領域的經驗和工藝平臺，聯盟將共同開發可用于多種產品和應用的工業級慣性傳感器和壓力傳感器，如電子穩定控制系統、資產跟蹤、無人機、汽車和可穿戴設備。為實現這一目標，聯盟成員將專注于縮小現有工業級慣性傳感器和MEMS傳感器之間在性能、成本、尺寸方面的差距。

印刷電路板上的能量采集器

聯盟也將開發氮化鋁（AlN）調頻MEMS慣性測量單元，包含一個3軸加速度計、一個3軸陀螺儀和一個壓力傳感器，以及氮化鋁慣性工藝流程平臺和工藝設計套件。與現有MEMS傳感器相比，氮化鋁MEMS慣性傳感器擁有諸多優勢，如抗噪、高精度、更好的線性度以及更簡單的讀出電路設計。憑借更低的成本和更小的封裝尺寸，氮化鋁MEMS慣性傳感器將更符合工業級性能需求。

消費類、汽車和工業領域對傳感器器件的需求不斷增長，傳感器行業將面臨更復雜的挑戰，需要開發具有更多先進功能、更小封裝尺寸、更高性能以及更低成本的器件。MEMS和傳感器技術的研發對解決上述挑戰而言至關重要，也能為各類應用對MEMS器件的大規模采用鋪平道路。預計到2018年，全球MEMS市場規模將超過220億美元。

358MHz氮化鋁MEMS振蕩器

IME及其工業合作伙伴在MEMS第二聯盟（MEMSConsortiumII）成功開發了具有先進功能并可以量產的MEMS器件，例如一款能量采集器、一款振蕩器和一款磁力計。

IME的執行董事Dim-LeeKwong教授表示：“IME在MEMS技術領域所取得的成績與產業合作密不可分，充分體現了開放式創新對科技進步的驅動作用。我們將研發與產業經驗相結合，開發出成本經濟的創新型技術解決方案，并將驅動新一代電子器件實現大批量生產和商業化。”

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