韓國(guó)科學(xué)技術(shù)院(KoreaAdvancedInstituteofScienceandTechnology，KAIST)在半導(dǎo)體電路技術(shù)國(guó)際學(xué)會(huì)“ISSCC2015”上發(fā)表論文演講，介紹了使用CMOS與碳納米管制成的醫(yī)療用傳感器(演講編號(hào)：16.6)。該傳感器是在利用0.35μm工藝制造的CMOS晶圓上配置碳納米管電極制成的。
這種傳感器的特點(diǎn)是不使用金屬電極連接導(dǎo)線。導(dǎo)線主要用于與外部進(jìn)行信號(hào)交換以及提供電源電壓，而此次的傳感器則是讓筆式閱讀器直接接觸金屬板上的傳感器以加載電壓，然后通過(guò)與筆式閱讀器相連接的個(gè)人電腦和智能手機(jī)來(lái)讀取測(cè)量結(jié)果。
碳納米管可以加工成與生物分子同等程度的尺寸，因此經(jīng)常被用作生物傳感器。不過(guò)，碳納米管與CMOS工藝搭配使用時(shí)，加工必須謹(jǐn)慎，以防止碳納米管與金屬電極接觸后發(fā)生短路。
KAIST此次開發(fā)的傳感器的優(yōu)點(diǎn)是，無(wú)需防止短路的后處理和表面加工，因此與以往的使用CMOS和碳納米管制成的傳感器相比，制造成本更低。由于醫(yī)療領(lǐng)域的傳感器大多都是一次性的，因此必須控制價(jià)格。
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