多晶硅工藝提高后，完全能夠實現清潔生產。產業發展初期，生產規模小，副產物處理技術不完善，部分副產四氯化硅通過水解及貯存等簡單的處理方式，給行業帶來負面影響。
伴隨產業規模擴大，簡單的副產物處理方式已不能適應大規模生產需要，為降低生產成本，實現安全環保生產，以中硅高科為代表的企業深入研究四氯化硅氫化技術，將其轉化為原料三氯氫硅，實現了多晶硅生產系統的閉路循環，以此降低多晶硅生產成本。
實際上，四氯化硅既是多晶硅生產的主要副產物，也是多晶硅生產原料的主要來源之一。近幾年，隨著四氯化硅冷氫化等技術研發與推廣，實現了將多晶硅生產過程中產生的95%的副產物四氯化硅氫化轉化為三氯氫硅原料，剩余約5%含雜質四氯化硅經提純后用于生產氣相白炭黑或其他有機硅產品，真正做到物料閉式循環利用，既有效解決了副產物處理難題，也降低了生產成本，消除了四氯化硅的污染隱患。
多晶硅“三廢”處理措施事實上，多晶硅生產的“三廢”成分簡單，處理容易。多晶硅還原尾氣主要含有氫氣、氯化氫、三氯氫硅、四氯化硅等成分;廢水為廢氣淋洗水、純水制備排水等，含鹽酸，呈酸性;廢渣為硅粉、二氧化硅、石灰石渣等，無害、不溶，屬一般固體廢物。
通過用水或堿性水對廢氣進行淋洗，利用氯硅烷極易水解和酸堿中和的原理，將廢氣中的主要成分水解成二氧化硅和鹽酸，鹽酸與堿反應形成中性水，進一步處理后達標排放;二氧化硅通過壓濾固化后運至政府指定垃圾場或填坑鋪路。
氫化技術取得突破是形成多晶硅生產過程物料封閉循環的基礎，現在國內大部分千噸級規模的工廠都有“尾氣干法回收”系統，環境影響評價和監測系統完善，不存在“高排放”。
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