編者按：美國吉時利（Keithley）儀器公司日前宣布將與Stratosphere Solutions公司合作。Stratosphere Solutions致力于面向集成電路制造提供能夠提高工藝參數成品率的新型解決方案。 吉時利與Stratosphere Solutions合作后將采用陣列TEG（測試元件組）技術展開先進工藝研發和監測工作。 由于IC制造商不斷追求制造更小尺寸器件，因此65nm以下水平上的工藝參數偏差為廣大設計與測試工程師提出了巨大挑戰。半導體行業迫切需要監測極其敏感的生產工藝，以便在不犧牲成品率的情況下獲得最佳IC性能。 吉時利與Stratosphere Solutions將合作為彼此共同的客戶提供一種獨特特征分析基本架構，采用吉時利S600系列參數測試儀和StratoPro IP實現大容量、高產能、高可靠參數測量解決方案，確保客戶成功實現先進半導體 工藝。 吉時利副總裁、商務主管Mark Hoersten認為，“隨著半導體技術發展，器件小型化上限已經達到納米級，測量技術不僅要與時俱進，而且要幫助制造商構建并測試這類器件， 作為先進半導體測試技術領導者，吉時利期望與業界主要廠商合作，針對最高級客戶應用提供創新性解決方案。” Stratosphere Solutions公司首席戰略官Prashant Maniar認為，“Stratosphere Solutions非常高興與吉時利合作，共同提供最新的、即拆即用的、可互操作的測量解決方案，能夠與最先進測試工具進行互連，這對于整個行業都是至關重要的。 隨著半導體工藝達到45nm以下，越來越多客戶面臨改進參數成品率的挑戰。Stratosphere Solutions高度集成硅驗證解決方案對于幫助用戶進一步提高參數成品率，降低成品率改進所帶來的成本，加速測試時間，提高ROI都是非常關鍵的。” 吉時利S600系列參數測試儀通過適應器件工藝變化，幫助晶圓廠和代工廠降低芯片測試成本。這類測試儀可以用作成本極低的直流、射頻和陣列TEG測試儀，提高固定設備重用性，從而降低測試成本。S600系列最新產品S680在一個測試系統內實現并行測試功能、高直流測試靈敏度、飛安級分辨率以及高達40GHz射頻s參數測量功能，從而為65nm以下工藝節點測量提供具有當前業界最高產能和較低投資成本解決方案。 隨著工藝幾何尺寸縮減到65nm以下，陣列TEG結構，例如Stratosphere獲獎StratoPro產品套件，正日益成為半導體工藝特征分析的關鍵手段。主要半導體公司需要一種事實上的標準產品，StratoPro將同樣硅面積上的測試密度提高幾千倍，實現最高分辨率測量和改善總體測試完備性。 作為一個參數式ActiveMatrix硅IP平臺，StratoPro將憑借其高精度特性、電氣參數及可變性管芯內統計功能幫助晶圓廠和輕晶圓廠用戶實現芯片特征分析。用戶可以選擇65nm和45nm硅驗證StratoPro平臺，因為它將測試結構的密度提高了10～1000倍，實現很高測量分辨率，結合吉時利測試儀平臺后能夠大大縮短測試時間。晶圓廠用戶可以在工藝研發的早期、成品率改進和生產監測過程中使用StratoPro。輕晶圓廠用戶可以使用該系統對與設計風格相關工藝偏差進行特征分析。