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微電子封裝設備精密定位系統的分析

發布時間：2009/4/4 6:15:00

文件類型：rar

資料大小：337.18KB

提供者：中國傳動網

【微電子封裝設備精密定位系統的分析】

資料介紹
根據微電子封裝設備定位平臺高速高精度的特點，討論了精密定位系統中工作臺的機構形式、驅動方式、運動控制器、實時檢測等關鍵技術的現狀，為研發新型微電子封裝高精密定位系統提供參考。

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