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微泓:創(chuàng)新突破,發(fā)力精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)應(yīng)用市場

——訪上海微泓自動(dòng)化設(shè)備有限公司總裁劉品寬博士

文:中國傳動(dòng)網(wǎng) 沈婷 | 2019年第五期 (0) | (0)

今年國內(nèi)外經(jīng)濟(jì)增速開始放緩,加之中美貿(mào)易戰(zhàn)的升級,國內(nèi)制造業(yè)受到波及,直驅(qū)行業(yè)也未能“幸免”,所謂危機(jī)也是生機(jī),上海微泓自動(dòng)化設(shè)備有限公司(簡稱:微泓)砥礪前行,對未來直驅(qū)市場充滿信心。近期,本刊實(shí)地走訪了微泓自動(dòng)化總裁劉品寬博士,他詳細(xì)介紹了目前公司在直驅(qū)市場的技術(shù)開發(fā)動(dòng)向以及未來的發(fā)展規(guī)劃。

劉品寬.jpg

提供潔凈、真空的專業(yè)化半導(dǎo)體裝備方案

微泓是一家致力于直驅(qū)(Direct-Drive)回轉(zhuǎn)定位平臺(tái)產(chǎn)品研發(fā)和應(yīng)用為一體的企業(yè),加強(qiáng)大學(xué)科研院所的工程能力,與大學(xué)科研院所共同承擔(dān)和完成國家大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝國家科技重大專項(xiàng)(簡稱“02專項(xiàng)”),是微泓公司成立的初衷,這也使得微泓成為了較早進(jìn)入半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的國內(nèi)企業(yè)之一。

上海是中國高端制造領(lǐng)域發(fā)展較快的區(qū)域,這為微泓提供了很好的發(fā)展機(jī)遇。劉品寬表示,“我們是一家真正在半導(dǎo)體裝備制造行業(yè)有著多年實(shí)際開發(fā)經(jīng)驗(yàn)的國內(nèi)公司,具備齊全的檢測設(shè)備和擁有核心的研發(fā)技術(shù)團(tuán)隊(duì)。目前與多家上海半導(dǎo)體裝備企業(yè)有緊密的合作關(guān)系,包括光刻機(jī)、刻蝕機(jī)、CVD化學(xué)薄膜沉積設(shè)備等等。半導(dǎo)體行業(yè)對潔凈、真空環(huán)境以及生產(chǎn)工藝要求極為嚴(yán)苛,有一定的準(zhǔn)入‘門檻’,通過這些年來的開發(fā)積累,微泓自動(dòng)化的直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)DDR產(chǎn)品在國內(nèi)光刻機(jī)設(shè)備上有所應(yīng)用。

為了滿足半導(dǎo)體制造對潔凈度的高要求,微泓建立了100平米的萬級潔凈間,用于潔凈環(huán)境下的精密裝配、調(diào)試與測試;并配有激光干涉儀、主軸分析儀等精密測試儀器,滿足系統(tǒng)設(shè)計(jì)過程中對定制系統(tǒng)的標(biāo)定、精度測試和運(yùn)動(dòng)特性的測試要求;特別是還開發(fā)出了一套專門針對運(yùn)動(dòng)定位系統(tǒng)的運(yùn)動(dòng)時(shí)不同敏感位置的顆粒檢測與潔凈度評估系統(tǒng),令產(chǎn)品能夠完全符合客戶對高端應(yīng)用領(lǐng)域的需求。

微泓開發(fā)的潔凈環(huán)境使用的多維精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)和多維潔凈機(jī)械手,采用電纜管理系統(tǒng),可以降低顆粒物的排放量;專屬潤滑劑用于潔凈環(huán)境使用,不含碳?xì)浠衔铮粚Σ牧媳砻孢M(jìn)行特殊處理,使用潔凈室級包裝;專門的制造工藝,使運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)達(dá)到最高的系統(tǒng)級潔凈度。

其中,多維精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)可根據(jù)客戶的應(yīng)用需求,為客戶量身定制多維運(yùn)動(dòng)系統(tǒng),目前已有的成熟方案包括12吋晶圓的光學(xué)關(guān)鍵尺寸,薄膜厚度,光刻疊對測量中的四維精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)、12吋晶圓缺陷在線檢測的四維精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)、球面和非球面表面測量中的四維精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)等,這些技術(shù)解決方案可以應(yīng)用在對平臺(tái)性能具有極高要求的半導(dǎo)體制造相關(guān)領(lǐng)域。

拓展產(chǎn)品線,加強(qiáng)市場化

微泓從2014年左右開始面向市場推出直驅(qū)系列產(chǎn)品,并把高精度直驅(qū)DDR轉(zhuǎn)臺(tái)技術(shù)定位為公司的重點(diǎn)開發(fā)方向,目前在直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)技術(shù)方面擁有10多項(xiàng)授權(quán)國家發(fā)明專利。從2017年開始,微泓根據(jù)市場環(huán)境做出調(diào)整,向中低端應(yīng)用市場輻射。

擴(kuò)展中低端應(yīng)用市場,微泓從三個(gè)方面著手,首先,是擴(kuò)大產(chǎn)品線。微泓目前已開發(fā)出自己的產(chǎn)品線,包括運(yùn)動(dòng)控制、伺服驅(qū)動(dòng)、測量傳感、控制軟件、定位機(jī)構(gòu)等關(guān)鍵部件,以及包括從納米級定位,到微米級定位和微-納結(jié)合的運(yùn)動(dòng)與定位控制系統(tǒng),這些標(biāo)準(zhǔn)化和定制化產(chǎn)品線能滿足用戶對精密運(yùn)動(dòng)與定位控制的需求,且微泓的伺服電機(jī)、伺服驅(qū)動(dòng)器以及相應(yīng)的精度補(bǔ)償與標(biāo)定算法完全是自主研發(fā)技術(shù)。微泓的產(chǎn)品在3C電子、平板顯示、激光精加工、半導(dǎo)體和泛半導(dǎo)體制造裝備(如:光刻機(jī)轉(zhuǎn)臺(tái))等一些精密加工行業(yè)得到廣泛應(yīng)用。

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目前微泓主要推出的DDR直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)包括機(jī)械軸承支承系列(SR系列)和氣浮軸承支承系列(GR系列),具有高轉(zhuǎn)速、低傳動(dòng)慣量、良好的加速性能優(yōu)勢,易實(shí)現(xiàn)高精度、高動(dòng)態(tài)性能的定位過程。從定位精度(0.25~30arc-sec)和輸出力矩(0.2~300N·m)兩個(gè)維度,精確定位用戶的應(yīng)用,給予用戶更大的選擇范圍。同時(shí)還可以將直接驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)電機(jī)直接耦合或連接到從動(dòng)負(fù)載上,從而實(shí)現(xiàn)與負(fù)載的剛性耦合,消除了與傳動(dòng)皮帶和齒輪箱等相關(guān)的問題,為用戶帶來很好的解決方案。

其次,微泓著手做高性價(jià)比的產(chǎn)品,通過加強(qiáng)核心零部件(如光柵編碼器)的國產(chǎn)化率,來降低整體系統(tǒng)的制造成本,為不同的行業(yè)用戶提供具有綜合性價(jià)比優(yōu)勢的解決方案。在嚴(yán)格按照行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),保證產(chǎn)品的質(zhì)量的同時(shí),強(qiáng)化與客戶建立聯(lián)系,增強(qiáng)用戶粘性,了解客戶的真實(shí)需求,為客戶提供個(gè)性化和專業(yè)化的售后服務(wù)。

此外,針對不同的細(xì)分應(yīng)用領(lǐng)域,做定制化開發(fā)。微泓具備ETO定制小批量制造與測試能力,目前已形成完善的ETO開發(fā)管理流程,包括前期的客戶咨詢、需求分析、方案及報(bào)價(jià)、簽訂合同、項(xiàng)目小組成立、詳細(xì)設(shè)計(jì)、加工制造、售后維護(hù)、測試與用戶考核。根據(jù)客戶設(shè)備生產(chǎn)的新要求,有針對性地在設(shè)備上定制開發(fā)所需要的功能,可以為不同的應(yīng)用場合提供差異化的技術(shù)方案,滿足中低端市場不同用戶的場景需求。

“目前我們工作的重點(diǎn)是結(jié)合各種不同的實(shí)際應(yīng)用環(huán)境,運(yùn)用我們在DDR轉(zhuǎn)臺(tái)技術(shù)開發(fā)的優(yōu)勢,去替代國外高端品牌。在和客戶的合作上,我們雙方會(huì)集中技術(shù)、資金等優(yōu)勢資源,共同開發(fā)出更符合客戶生產(chǎn)應(yīng)用需求的方案,解決客戶面臨的難點(diǎn)。”劉品寬補(bǔ)充道。

近年來,微泓已在華東市場上嶄露頭角,按照公司的發(fā)展規(guī)劃,華南地區(qū)將是微泓未來主力開發(fā)的重點(diǎn)區(qū)域市場。正如劉品寬所言,華南地區(qū)是中國高科技電子產(chǎn)業(yè)的聚集地,已形成門類齊全、綜合配套能力和產(chǎn)品開發(fā)能力較強(qiáng)的外向型現(xiàn)代工業(yè)體系,發(fā)展極具前瞻性。微泓會(huì)緊跟時(shí)代步伐,采用“腳踏實(shí)地,扎實(shí)基礎(chǔ)”的戰(zhàn)略,全面布局企業(yè)發(fā)展道路,持續(xù)擴(kuò)大微泓在中國自動(dòng)化市場上的品牌影響力。


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