時間:2024-12-16 14:46:05來æºï¼š21icé›»åç¶²
  內阻很å°çš„MOS管發熱的主è¦åŽŸå› åŒ…æ‹¬ä»¥ä¸‹å¹¾é»ž?:
  ?功率æè€—?:當MOS管æµéŽè¼ƒå¤§é›»æµæ™‚,å³ä½¿å…§é˜»å¾ˆå°ï¼Œä¹Ÿæœƒç”¢ç”Ÿè¼ƒå¤§çš„功率æè€—,導致發熱。在開關電æºä¸ï¼Œå¦‚æžœMOS管的關斷和導通速度ä¸å¤ å¿«ï¼Œä¹Ÿæœƒç”¢ç”Ÿé™„åŠ çš„åŠŸçŽ‡æè€—?12。
  ?線性工作狀態?:如果MOS管工作在線性å€è€Œéžé–‹é—œå€ï¼Œå°Žé€šæ™‚é–“éŽé•·æœƒå°Žè‡´å·¥ä½œåœ¨ç·šæ€§å€å…§ï¼Œç‰æ•ˆç›´æµé˜»æŠ—增大,壓é™å¢žå¤§ï¼Œå¾žè€Œå¢žåŠ åŠŸçŽ‡æè€—和發熱?23。
  ?é–‹é—œé »çŽ‡éŽé«˜?:在追求å°åž‹åŒ–çš„éŽç¨‹ä¸ï¼Œæé«˜å·¥ä½œé »çŽ‡æœƒå°Žè‡´MOS管上的æè€—增大,發熱å•題顯著?23。
  ?散熱è¨è¨ˆä¸è¶³?:如果散熱è¨è¨ˆä¸è¶³ï¼Œå³ä½¿é›»æµæ²’æœ‰è¶…éŽæ¨™ç¨±å€¼ï¼Œä¹Ÿå¯èƒ½å› 散熱ä¸è‰¯è€Œå°Žè‡´åš´é‡ç™¼ç†±?2。
  ?é¸åž‹ä¸ç•¶?ï¼šé¸æ“‡MOSç®¡æ™‚ï¼Œå…§é˜»é¸æ“‡ä¸ç•¶ä¹Ÿæœƒå°Žè‡´é–‹é—œé˜»æŠ—增大,功率æè€—å¢žåŠ ï¼Œå¾žè€Œå¼•èµ·ç™¼ç†±?23。
  ?å¤–éƒ¨å› ç´ ?:外部çŸè·¯æˆ–æ–·è·¯ã€éŽæµä¿è·å‹•ä½œåŽæœªåˆ‡æ–·é›»è·¯ã€è² 載éŽå¤§ã€ç’°å¢ƒæº«åº¦éŽé«˜ç‰å› ç´ ä¹Ÿæœƒå°Žè‡´MOS管發熱?4。
  Sourceã€Drainã€Gateåˆ†åˆ¥å°æ‡‰å ´æ•ˆæ‡‰ç®¡çš„ä¸‰æ¥µï¼šæºæ¥µSã€æ¼æ¥µDã€æŸµæ¥µG(里這ä¸è¬›æŸµæ¥µGOX擊穿,åªé‡å°æ¼æ¥µé›»å£“擊穿)。
  1ã€MOSFET的擊穿有哪幾種?
  先講測試æ¢ä»¶ï¼Œéƒ½æ˜¯æºæŸµè¥¯åº•éƒ½æ˜¯æŽ¥åœ°ï¼Œç„¶åŽæŽƒææ¼æ¥µé›»å£“ï¼Œç›´è‡³Drain端電æµé”到1uAã€‚æ‰€ä»¥å¾žå™¨ä»¶çµæ§‹ä¸Šçœ‹ï¼Œå®ƒçš„æ¼é›»é€šé“æœ‰ä¸‰æ¢ï¼šDrain到sourceã€Drain到Bulkã€Drain到Gate。
  1〠Drain-》Source穿通擊穿
ã€€ã€€é€™å€‹ä¸»è¦æ˜¯DrainåŠ åå電壓åŽï¼Œä½¿å¾—Drain/Bulkçš„PNçµè€—盡å€å»¶å±•,當耗盡å€ç¢°åˆ°Sourceçš„æ™‚å€™ï¼Œé‚£æºæ¼ä¹‹é–“å°±ä¸éœ€è¦é–‹å•Ÿå°±å½¢æˆäº† 通路,所以å«åšç©¿é€š(punch through)。
  那如何防æ¢ç©¿é€šå‘¢?這就è¦å›žåˆ°äºŒæ¥µç®¡åå特性了,耗盡å€å¯¬åº¦é™¤äº†èˆ‡é›»å£“有關,還與兩邊的摻雜濃度有關,濃度越高å¯ä»¥æŠ‘制耗盡å€å¯¬åº¦å»¶å±•,所以flowé‡Œé¢æœ‰å€‹é˜²ç©¿é€šæ³¨å…¥(APT:AnTI Punch Through),記ä½å®ƒè¦æ‰“å’ŒwellåŒtypeçš„specis。
  當然實際é‡åˆ°WATçš„BV跑了而且確定是從Source端走了,å¯èƒ½é‚„è¦çœ‹æ˜¯å¦ PolyCD或者Spacer寬度,或者LDD_IMPå•題了。
  那如何排除呢?這就è¦çœ‹ä½ 是å¦NMOSå’ŒPMOS都跑了?POLY CDå¯ä»¥é€šéŽPoly相關的WAT來驗è‰ã€‚
  å°äºŽç©¿é€šæ“Šç©¿ï¼Œæœ‰ä»¥ä¸‹ä¸€äº›ç‰¹å¾ï¼š
  (1)穿通擊穿的擊穿點軟,擊穿éŽç¨‹ä¸ï¼Œé›»æµæœ‰é€æ¥å¢žå¤§çš„特å¾ï¼Œé€™æ˜¯å› 為耗盡層擴展較寬,產生電æµè¼ƒå¤§ã€‚
  å¦ä¸€æ–¹é¢ï¼Œè€—盡層展寬大容易發生DIBL效應,使æºè¥¯åº•çµæ£å出ç¾é›»æµé€æ¥å¢žå¤§çš„特å¾ã€‚
  (2)ç©¿é€šæ“Šç©¿çš„è»Ÿæ“Šç©¿é»žç™¼ç”Ÿåœ¨æºæ¼çš„è€—ç›¡å±¤ç›¸æŽ¥æ™‚ï¼Œæ¤æ™‚æºç«¯çš„載æµå注入到耗盡層ä¸ï¼Œè¢«è€—盡層ä¸çš„é›»å ´åŠ é€Ÿé”到æ¼ç«¯ã€‚
ã€€ã€€å› æ¤ï¼Œç©¿é€šæ“Šç©¿çš„é›»æµä¹Ÿæœ‰æ€¥åŠ‡å¢žå¤§é»žï¼Œé€™å€‹é›»æµçš„æ€¥åŠ‡å¢žå¤§å’Œé›ªå´©æ“Šç©¿æ™‚é›»æµæ€¥åŠ‡å¢žå¤§ä¸åŒï¼Œé€™æ™‚的電æµç›¸ç•¶äºŽæºè¥¯åº•PNçµæ£å‘導通時的電æµï¼Œè€Œé›ªå´©æ“Šç©¿æ™‚的電æµä¸»è¦ç‚ºPNçµå呿“Šç©¿æ™‚的雪崩電æµï¼Œå¦‚ä¸ä½œé™æµï¼Œé›ªå´©æ“Šç©¿çš„é›»æµè¦å¤§ã€‚
  (3)ç©¿é€šæ“Šç©¿ä¸€èˆ¬ä¸æœƒå‡ºç¾ç ´å£žæ€§æ“Šç©¿ã€‚å› ç‚ºç©¿é€šæ“Šç©¿å ´å¼·æ²’æœ‰é”åˆ°é›ªå´©æ“Šç©¿çš„å ´å¼·ï¼Œä¸æœƒç”¢ç”Ÿå¤§é‡é›»å空穴å°ã€‚
  (4)穿通擊穿一般發生在æºé“體內,æºé“表é¢ä¸å®¹æ˜“ç™¼ç”Ÿç©¿é€šï¼Œé€™ä¸»è¦æ˜¯ç”±äºŽæºé“æ³¨å…¥ä½¿è¡¨é¢æ¿ƒåº¦æ¯”æ¿ƒåº¦å¤§é€ æˆï¼Œæ‰€ä»¥ï¼Œå°NMOS管一般都有防穿通注入。
  (5)一般的,鳥嘴邊緣的濃度比æºé“ä¸é–“濃度大,所以穿通擊穿一般發生在æºé“ä¸é–“。
  (6)多晶柵長度å°ç©¿é€šæ“Šç©¿æ˜¯æœ‰å½±éŸ¿çš„ï¼Œéš¨è‘—æŸµé•·åº¦å¢žåŠ ï¼Œæ“Šç©¿å¢žå¤§ã€‚è€Œå°é›ªå´©æ“Šç©¿ï¼Œåš´æ ¼ä¾†èªªä¹Ÿæœ‰å½±éŸ¿ï¼Œä½†æ˜¯æ²’有那么顯著。
  2〠Drain-》Bulk雪崩擊穿
  這就單純是PNçµé›ªå´©æ“Šç©¿äº†(avalanche Breakdown)ï¼Œä¸»è¦æ˜¯æ¼æ¥µåå電壓下使得PNçµè€—盡å€å±•寬,則ååé›»å ´åŠ åœ¨äº†PNçµåå上é¢ï¼Œä½¿å¾—é›»ååŠ é€Ÿæ’žæ“Šæ™¶æ ¼ç”¢ç”Ÿæ–°çš„é›»åç©ºç©´å° (Electron-Hole pair),然åŽé›»å繼續撞擊,如æ¤é›ªå´©å€å¢žä¸‹åŽ»å°Žè‡´æ“Šç©¿ï¼Œæ‰€ä»¥é€™ç¨®æ“Šç©¿çš„é›»æµå¹¾ä¹Žå¿«é€Ÿå¢žå¤§ï¼ŒI-V curve幾乎垂直上去,很容燒毀的。(é€™é»žå’Œæºæ¼ç©¿é€šæ“Šç©¿ä¸ä¸€æ¨£)
  那如何改善這個juncTIon BVå‘¢?所以主è¦é‚„是從PNçµæœ¬èº«ç‰¹æ€§è¬›èµ·ï¼Œè‚¯å®šè¦é™ä½Žè€—盡å€é›»å ´ï¼Œé˜²æ¢ç¢°æ’žç”¢ç”Ÿé›»å空穴å°ï¼Œé™ä½Žé›»å£“肯定ä¸è¡Œï¼Œé‚£å°±åªèƒ½å¢žåŠ è€—ç›¡å€å¯¬åº¦äº†ï¼Œæ‰€ä»¥è¦æ”¹è®Š doping profile了,這就是為什么çªè®Šçµ(Abrupt juncTIon)的擊穿電壓比緩變çµ(Graded JuncTIon)的低。
  當然除了doping profile,還有就是doping濃度,濃度越大,耗盡å€å¯¬åº¦è¶Šçª„ï¼Œæ‰€ä»¥é›»å ´å¼·åº¦è¶Šå¼·ï¼Œé‚£è‚¯å®šå°±é™ä½Žæ“Šç©¿é›»å£“了。而且還有個è¦å¾‹æ˜¯æ“Šç©¿é›»å£“通常是由低 æ¿ƒåº¦çš„é‚£é‚Šæ¿ƒåº¦å½±éŸ¿æ›´å¤§ï¼Œå› ç‚ºé‚£é‚Šçš„è€—ç›¡å€å¯¬åº¦å¤§ã€‚
ã€€ã€€å…¬å¼æ˜¯BV=K*(1/Na+1/Nb),從公å¼é‡Œä¹Ÿå¯ä»¥çœ‹å‡ºNaå’ŒNb濃度如果差10å€ï¼Œå¹¾ä¹Žå…¶ä¸ä¸€ 個就å¯ä»¥å¿½ç•¥äº†ã€‚
  那實際的process如果發ç¾BV變å°ï¼Œå¹¶ä¸”ç¢ºèªæ˜¯å¾žjunctionèµ°çš„ï¼Œé‚£å¥½å¥½æŸ¥æŸ¥ä½ çš„Source/Drain implant了。
  3〠Drain-》Gate擊穿
ã€€ã€€é€™å€‹ä¸»è¦æ˜¯Drainå’ŒGate之間的Overlap導致的柵極氧化層擊穿,這個有點類似GOXæ“Šç©¿äº†ï¼Œç•¶ç„¶å®ƒæ›´åƒ Poly fingerçš„GOX擊穿了,所以他å¯èƒ½æ›´care poly profile以åŠsidewall damage了。當然這個Overlap還有個å•題就是GIDL,這個也會貢ç»Leakage使得BVé™ä½Žã€‚
  上é¢è¬›çš„就是MOSFET的擊穿的三個通é“,通常BVçš„case以å‰å…©ç¨®å±…多。
  上é¢è¬›çš„都是Off-state下的擊穿,也就是Gate為0V的時候,但是有的時候Gate開啟下DrainåŠ é›»å£“éŽé«˜ä¹Ÿæœƒå°Žè‡´æ“Šç©¿çš„,我們稱之為 On-state擊穿。
  這種情æ³å°¤å…¶å–œæ¡ç™¼ç”Ÿåœ¨Gate較低電壓時,或者管å剛剛開啟時,而且幾乎都是NMOS。所以我們通常WAT也會測試BVON。
  上é¢è¬›çš„就是MOSFET的擊穿的三個通é“,通常BVçš„case以å‰å…©ç¨®å±…多。
  上é¢è¬›çš„都是Off-state下的擊穿,也就是Gate為0V的時候,但是有的時候Gate開啟下DrainåŠ é›»å£“éŽé«˜ä¹Ÿæœƒå°Žè‡´æ“Šç©¿çš„,我們稱之為 On-state擊穿。
  這種情æ³å°¤å…¶å–œæ¡ç™¼ç”Ÿåœ¨Gate較低電壓時,或者管å剛剛開啟時,而且幾乎都是NMOS。所以我們通常WAT也會測試BVON。
  2
  如何處ç†mos管å°é›»æµç™¼ç†±åš´é‡æƒ…æ³?
  mos管,åšé›»æºè¨è¨ˆï¼Œæˆ–者åšé©…å‹•æ–¹é¢çš„電路,難å…è¦ç”¨åˆ°MOS管。MOS管有很多種類,也有很多作用。åšé›»æºæˆ–者驅動的使用,當然就是用它的開關作用。
  無論N型或者Påž‹MOSç®¡ï¼Œå…¶å·¥ä½œåŽŸç†æœ¬è³ªæ˜¯ä¸€æ¨£çš„。MOSç®¡æ˜¯ç”±åŠ åœ¨è¼¸å…¥ç«¯æŸµæ¥µçš„é›»å£“ä¾†æŽ§åˆ¶è¼¸å‡ºç«¯æ¼æ¥µçš„é›»æµã€‚
  MOS管是壓控器件它通éŽåŠ åœ¨æŸµæ¥µä¸Šçš„é›»å£“æŽ§åˆ¶å™¨ä»¶çš„ç‰¹æ€§ï¼Œä¸æœƒç™¼ç”Ÿåƒä¸‰æ¥µç®¡åšé–‹é—œæ™‚çš„å› åŸºæ¥µé›»æµå¼•起的電è·å˜å„²æ•ˆæ‡‰ï¼Œå› æ¤åœ¨é–‹é—œæ‡‰ç”¨ä¸ï¼ŒMOS管的開關速度應該比三極管快。
  我們經常看MOS管的PDFåƒæ•¸ï¼ŒMOSç®¡åˆ¶é€ å•†é‡‡ç”¨RDS(ON)åƒæ•¸ä¾†å®šç¾©å°Žé€šé˜»æŠ—,å°é–‹é—œæ‡‰ç”¨ä¾†èªªï¼ŒRDS(ON)也是最é‡è¦çš„器件特性。
  數據手冊定義RDS(ON)與柵極(或驅動)電壓VGSä»¥åŠæµç¶“é–‹é—œçš„é›»æµæœ‰é—œï¼Œä½†å°äºŽå……分的柵極驅動,RDS(ON)是一個相å°éœæ…‹åƒæ•¸ã€‚一直處于導通的MOS管很容易發熱。å¦å¤–,慢慢å‡é«˜çš„çµæº«ä¹Ÿæœƒå°Žè‡´RDS(ON)çš„å¢žåŠ ã€‚
  MOS管數據手冊è¦å®šäº†ç†±é˜»æŠ—åƒæ•¸ï¼Œå…¶å®šç¾©ç‚ºMOS管å°è£çš„åŠå°Žé«”çµæ•£ç†±èƒ½åŠ›ã€‚RθJC的最簡單的定義是çµåˆ°ç®¡æ®¼çš„熱阻抗。
  1ã€mos管å°é›»æµç™¼ç†±çš„åŽŸå› ï¼š
  1)電路è¨è¨ˆçš„å•題:就是讓MOSç®¡å·¥ä½œåœ¨ç·šæ€§çš„å·¥ä½œç‹€æ…‹ï¼Œè€Œä¸æ˜¯åœ¨é–‹é—œç‹€æ…‹ï¼Œé€™ä¹Ÿæ˜¯å°Žè‡´MOSç®¡ç™¼ç†±çš„ä¸€å€‹åŽŸå› ã€‚
  如果N-MOSåšé–‹é—œï¼ŒGç´šé›»å£“è¦æ¯”é›»æºé«˜å¹¾V,æ‰èƒ½å®Œå…¨å°Žé€šï¼ŒP-MOS則相å。沒有完全打開而壓é™éŽå¤§é€ æˆåŠŸçŽ‡æ¶ˆè€—ï¼Œç‰æ•ˆç›´æµé˜»æŠ—比較大,壓é™å¢žå¤§ï¼Œæ‰€ä»¥U*I也增大,æè€—å°±æ„味著發熱。這是è¨è¨ˆé›»è·¯çš„æœ€å¿Œè«±çš„錯誤。
  2)é »çŽ‡å¤ªé«˜ï¼šä¸»è¦æ˜¯æœ‰æ™‚éŽåˆ†è¿½æ±‚é«”ç©ï¼Œå°Žè‡´é »çއæé«˜ï¼ŒMOS管上的æè€—å¢žå¤§äº†ï¼Œæ‰€ä»¥ç™¼ç†±ä¹ŸåŠ å¤§äº†ã€‚
  3)沒有åšå¥½è¶³å¤ 的散熱è¨è¨ˆï¼šé›»æµå¤ªé«˜ï¼ŒMOS管標稱的電æµå€¼ï¼Œä¸€èˆ¬éœ€è¦è‰¯å¥½çš„æ•£ç†±æ‰èƒ½é”到。所以IDå°äºŽæœ€å¤§é›»æµï¼Œä¹Ÿå¯èƒ½ç™¼ç†±åš´é‡ï¼Œéœ€è¦è¶³å¤ 的輔助散熱片。
  4)MOS管的é¸åž‹æœ‰èª¤ï¼šå°åŠŸçŽ‡åˆ¤æ–·æœ‰èª¤ï¼ŒMOS管內阻沒有充分考慮,導致開關阻抗增大。
  2ã€mos管å°é›»æµç™¼ç†±åš´é‡æ€Žä¹ˆè§£æ±ºï¼š
  0åšå¥½MOS管的散熱è¨è¨ˆï¼Œæ·»åŠ è¶³å¤ å¤šçš„è¼”åŠ©æ•£ç†±ç‰‡ã€‚
ã€€ã€€è²¼æ•£ç†±è† ã€‚
  3
  MOS管為什么å¯ä»¥é˜²æ¢é›»æºå接?
  電æºåæŽ¥ï¼Œæœƒçµ¦é›»è·¯é€ æˆæå£žï¼Œä¸éŽï¼Œé›»æºå接是ä¸å¯é¿å…的。所以,我們就需è¦çµ¦é›»è·¯ä¸åŠ å…¥ä¿è·é›»è·¯ï¼Œé”到å³ä½¿æŽ¥åé›»æºï¼Œä¹Ÿä¸æœƒæå£žçš„目的。
  一般å¯ä»¥ä½¿ç”¨åœ¨é›»æºçš„æ£æ¥µä¸²å…¥ä¸€å€‹äºŒæ¥µç®¡è§£æ±ºï¼Œä¸éŽï¼Œç”±äºŽäºŒæ¥µç®¡æœ‰å£“é™ï¼Œæœƒçµ¦é›»è·¯é€ æˆä¸å¿…è¦çš„æè€—ï¼Œå°¤å…¶æ˜¯é›»æ± ä¾›é›»å ´åˆï¼Œæœ¬ä¾†é›»æ± 電壓就3.7Vï¼Œä½ å°±ç”¨äºŒæ¥µç®¡é™äº†0.6Vï¼Œä½¿å¾—é›»æ± ä½¿ç”¨æ™‚é–“å¤§æ¸›ã€‚
  MOSç®¡é˜²åæŽ¥ï¼Œå¥½è™•就是壓é™å°ï¼Œå°åˆ°å¹¾ä¹Žå¯ä»¥å¿½ç•¥ä¸è¨ˆã€‚ç¾åœ¨çš„MOS管å¯ä»¥åšåˆ°å¹¾å€‹æ¯«æçš„內阻,å‡è¨æ˜¯6.5毫æï¼Œé€šéŽçš„é›»æµç‚º1A(這個電æµå·²ç¶“很大了),在他上é¢çš„壓é™åªæœ‰6.5毫ä¼ã€‚
ä¸Šä¸€ç¯‡ï¼šé‹°é›»æ± ä¿è·å™¨çš„定義 é‹°é›»æ± ä¿...
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