時間:2024-04-15 16:32:11來源:21ic電子網
一、晶圓是什么
晶圓(Wafer)是一種薄片狀的硅基底材料,用于集成電路芯片的制造。它是電子器件和集成電路制造的基礎材料之一。晶圓由單晶硅材料制成,并具有平整的表面和高度純凈的結構。在芯片制造過程中,晶圓被切割成數百甚至數千個小方塊,每個小方塊都成為一個獨立的芯片。
晶圓具有非常高的純度和平整度。它通常由單晶硅材料制成,通過特殊的生長工藝形成大規模的圓盤形狀。晶圓的直徑通常為4英寸(約10厘米)、6英寸、8英寸或12英寸,尺寸越大,可以制造更多的芯片。
晶圓的制備過程包括選取適當純度的硅單晶材料,將其溶解并再結晶,經過多道工序進行精磨和拋光,以獲得高度平整的表面。晶圓的表面質量對于芯片制造的成功至關重要,因為任何微小的缺陷或污染都可能影響芯片的性能和可靠性。
那晶圓和芯片有什么關系呢?
1、晶圓作為芯片的基礎: 晶圓是芯片制造的基礎,它提供了一個平整且高度純凈的表面,用于在上面構建集成電路。每個晶圓可以被切割成數百甚至數千個小方塊,每個小方塊都會成為一個獨立的芯片。因此,晶圓的質量和制備過程的精確性直接影響到芯片的品質和性能。
2、晶圓上的工藝步驟: 在晶圓上進行芯片制造需要經歷多個工藝步驟。這些步驟包括光刻、薄膜沉積、離子注入、化學腐蝕、金屬沉積等,通過這些步驟在晶圓上逐漸構建出復雜的集成電路結構。每個步驟都需要高精度的設備和工藝控制,以確保芯片的可靠性和質量。
3、晶圓和芯片的關系: 晶圓是芯片制造的起點。在芯片制造過程中,晶圓被切割成小方塊,每個小方塊都會成為一個獨立的芯片。這些芯片經過后續工藝步驟,包括電路設計、封裝和測試等,最終形成完整的電子產品。因此,晶圓和芯片的關系是前者作為后者的基礎和原材料。
二、晶圓測試
(一)晶圓測試的目的
1.顧名思義要在這個測試階段,檢測wafer上的die是否滿足設計要求,是否具備每個die擁有的基本特性,包括電壓,電流,功能等等。將無法達標的die,壞的die,在這一過程中檢測標記出來,半導體行業所謂良率,即通過CP測試來顯現。
2.也會有一些芯片在封裝時,有些管腳將會被直接封在芯片內部,導致封裝后無法對其功能進行測試,所以必須在此階段,尚未被封裝之前進行測試。
3.節省成本。對于一顆芯片來講,越早發現其不良就越好。避免進入到后續工藝步驟,帶來浪費。
4.某種意義上,通過CP測試,也是對fab廠工藝能力的一種檢驗。
(二)晶圓測試需要的硬件
下記三樣硬件搭配使用,才能實現CP測試的結果。
1.測試機(ATE)
目前世界測試機市場還是由美國泰瑞達和日本愛德萬兩大巨頭主導。
近些年,國內測試機也雨后春筍般出現,如:華峰測控,合肥悅芯,南京宏泰,杭州長川、杭州加速,杭州國磊等,每家測試機對于芯片類型偏好也不同,如功率半導體專用測試機如上海忱芯,蘇州聯訊等。測試機功能不盡相同,主要還是根據芯片的種類和功能來選用合適的測試機。
2.探針卡(Probe Card)
作為CP測試過程中的定制治具,是檢驗設計公司芯片不可或缺的產品。測試機和探針卡的關系猶如打印機和打印機墨盒,探針卡的種類也很多樣,根據芯片類型不同和半導體制程不同,分為懸臂式探針卡,垂直探針卡和MEMS探針卡三種。
3.探針臺(Prober)
控制wafer移動,并且提供測試內部環境的一臺高精密設備。
美國FFI,日本TEL,TSK等幾家是目前全球領先的探針臺廠商,提供12寸全自動高低溫探針臺。國內目前也涌現一些國產的全自動探針臺廠商如森美協爾,中科精工,矽電等。
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