整個半導體產(chǎn)業(yè)鏈中，加工制造是最重要的環(huán)節(jié)之一，如此巨大的市場，半導體工藝設(shè)備為半導體大規(guī)模制造提供制造基礎(chǔ)。本文將重點介紹半導體生產(chǎn)過程中的主要設(shè)備到底有哪些。

　　1、單晶爐

　　設(shè)備功能：熔融半導體材料，拉單晶，為后續(xù)半導體器件制造，提供單晶體的半導體晶坯。

　　國際主要品牌：德國PVA TePla AG公司、日本Ferrotec公司、美國QUANTUM DESIGN公司、德國Gero公司、美國KAYEX公司。

　　國內(nèi)主要品牌：北京京運通、七星華創(chuàng)、北京京儀世紀、河北晶龍陽光、西安理工晶科、常州華盛天龍、上海漢虹、西安華德、中國電子科技集團第四十八所、上海申和熱磁。

　　2、氣相外延爐

　　設(shè)備功能：為氣相外延生長提供特定的工藝環(huán)境，實現(xiàn)在單晶上，生長與單晶晶相具有對應(yīng)關(guān)系的薄層晶體，為單晶沉底實現(xiàn)功能化做基礎(chǔ)準備。氣相外延即化學氣相沉積的一種特殊工藝，其生長薄層的晶體結(jié)構(gòu)是單晶襯底的延續(xù)，而且與襯底的晶向保持對應(yīng)的關(guān)系。

　　國際主要品牌：美國CVD Equipment公司、美國GT公司、法國Soitec公司、法國AS公司、美國Proto Flex公司、美國科特·萊思科(Kurt J.Lesker)公司、美國Applied Materials公司。

　　國內(nèi)主要品牌：中國電子科技集團第四十八所、青島賽瑞達、合肥科晶材料技術(shù)有限公司、北京金盛微納、濟南力冠電子科技有限公司。

　　3、分子束外延系統(tǒng)

　　設(shè)備功能：分子束外延系統(tǒng)，提供在沉底表面按特定生長薄膜的工藝設(shè)備;分子束外延工藝，是一種制備單晶薄膜的技術(shù)，它是在適當?shù)囊r底與合適的條件下，沿襯底材料晶軸方向逐層生長薄膜。

　　國際主要品牌：法國Riber公司、美國Veeco公司、芬蘭DCA Instruments公司、美國SVTAssociates公司、美國NBM公司、德國Omicron公司、德國MBE-Komponenten公司、英國Oxford Applied Research(OAR)公司。

　　國內(nèi)主要品牌：沈陽中科儀器、北京匯德信科技有限公司、紹興匡泰儀器設(shè)備有限公司、沈陽科友真空技術(shù)有限公司。

　　4、氧化爐(VDF)

　　設(shè)備功能：為半導體材料進行氧化處理，提供要求的氧化氛圍，實現(xiàn)半導體預(yù)期設(shè)計的氧化處理過程，是半導體加工過程的不可缺少的一個環(huán)節(jié)。

　　國際主要品牌：英國Thermco公司、德國Centrotherm thermal solutions GmbH Co.KG公司。

　　國內(nèi)主要品牌：北京七星華創(chuàng)、青島福潤德、中國電子科技集團第四十八所、青島旭光儀表設(shè)備有限公司、中國電子科技集團第四十五所。

　　5、低壓化學氣相淀積系統(tǒng)(LPCVD)

　　設(shè)備功能：把含有構(gòu)成薄膜元素的氣態(tài)反應(yīng)劑或液態(tài)反應(yīng)劑的蒸氣及反應(yīng)所需其它氣體引入LPCVD設(shè)備的反應(yīng)室，在襯底表面發(fā)生化學反應(yīng)生成薄膜。

　　國際主要品牌：日本日立國際電氣公司、

　　國內(nèi)主要品牌：上海馳艦半導體科技有限公司、中國電子科技集團第四十八所、中國電子科技集團第四十五所、北京儀器廠、上海機械廠。

　　6、等離子體增強化學氣相淀積系統(tǒng)(PECVD)

　　設(shè)備功能：在沉積室利用輝光放電，使其電離后在襯底上進行化學反應(yīng)，沉積半導體薄膜材料。

　　國際主要品牌：美國Proto Flex公司、日本Tokki公司、日本島津公司、美國泛林半導體(Lam Research)公司、荷蘭ASM國際公司。

　　國內(nèi)主要品牌：中國電子科技集團第四十五所、北京儀器廠、上海機械廠。

　　7、磁控濺射臺(MSA)

　　設(shè)備功能：通過二極濺射中一個平行于靶表面的封閉磁場，和靶表面上形成的正交電磁場，把二次電子束縛在靶表面特定區(qū)域，實現(xiàn)高離子密度和高能量的電離，把靶原子或分子高速率濺射沉積在基片上形成薄膜。

　　國際主要品牌：美國PVD公司、美國Vaportech公司、美國AMAT公司、荷蘭Hauzer公司、英國Teer公司、瑞士Platit公司、瑞士Balzers公司、德國Cemecon公司。

　　國內(nèi)主要品牌：北京儀器廠、沈陽中科儀器、成都南光實業(yè)股份有限公司、中國電子科技集團第四十八所、科睿設(shè)備有限公司、上海機械廠。

　　8、化學機械拋光機(CMP)

　　設(shè)備功能：通過機械研磨和化學液體溶解“腐蝕”的綜合作用，對被研磨體(半導體)進行研磨拋光。

　　國際主要品牌：美國Applied Materials公司、美國諾發(fā)系統(tǒng)公司、美國Rtec公司。

　　國內(nèi)主要品牌：蘭州蘭新高科技產(chǎn)業(yè)股份有限公司、愛立特微電子。

　　9、光刻機

　　設(shè)備功能：在半導體基材上(硅片)表面勻膠，將掩模版上的圖形轉(zhuǎn)移光刻膠上，把器件或電路結(jié)構(gòu)臨時“復(fù)制”到硅片上。

　　國際主要品牌：荷蘭阿斯麥(ASML)公司、美國泛林半導體公司、日本尼康公司、日本Canon公司、美國ABM公司、德國德國SUSS公司、美國MYCRO公司。

　　國內(nèi)主要品牌：中國電子科技集團第四十八所、中國電子科技集團第四十五所、上海機械廠、成都南光實業(yè)股份有限公司。

　　10、反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng)(RIE)

　　設(shè)備功能：平板電極間施加高頻電壓，產(chǎn)生數(shù)百微米厚的離子層，放入式樣，離子高速撞擊式樣，實現(xiàn)化學反應(yīng)刻蝕和物理撞擊，實現(xiàn)半導體的加工成型。

　　國際主要品牌：日本Evatech公司、美國NANOMASTER公司、新加坡REC公司、韓國JuSung公司、韓國TES公司。

　　國內(nèi)主要品牌：北京儀器廠、北京七星華創(chuàng)電子有限公司、成都南光實業(yè)股份有限公司、中國電子科技集團第四十八所。

　　11、ICP等離子體刻蝕系統(tǒng)

　　設(shè)備功能：一種或多種氣體原子或分子混合于反應(yīng)腔室中，在外部能量作用下(如射頻、微波等)形成等離子體，一方面等離子體中的活性基團與待刻蝕表面材料發(fā)生化學反應(yīng)，生成可揮發(fā)產(chǎn)物;另一方面等離子體中的離子在偏壓的作用下被引導和加速，實現(xiàn)對待刻蝕表面進行定向的腐蝕和加速腐蝕。

　　國際主要品牌：英國牛津儀器公司、美國Torr公司、美國Gatan公司、英國Quorum公司、美國利曼公司、美國Pelco公司。

　　國內(nèi)主要品牌：北京儀器廠、北京七星華創(chuàng)電子有限公司、中國電子科技集團第四十八所、戈德爾等離子科技(香港)控股有限公司、中國科學院微電子研究所、北方微電子、北京東方中科集成科技股份有限公司、北京創(chuàng)世威納科技。

　　12、濕法刻蝕與清洗機

　　設(shè)備功能：濕法刻蝕是將刻蝕材料浸泡在腐蝕液內(nèi)進行腐蝕的技術(shù)。清洗是為減少沾污，因沾污會影響器件性能，導致可靠性問題，降低成品率，這就要求在每層的下一步工藝前或下一層前須進行徹底的清洗。

　　國際主要品牌：日本Screen(迪恩士)、韓國SEMES(細美事)、日本Tokyo Electron公司、美國泛林半導體(Lam Research)公司。

　　國內(nèi)主要品牌：南通華林科納 半導體設(shè)備 有限公司、北京七星華創(chuàng)電子有限公司、中國電子科技集團第四十五所、臺灣弘塑。

　　13、離子注入機(IBI)

　　設(shè)備功能：對半導體表面附近區(qū)域進行摻雜。

　　國際主要品牌：美國維利安半導體設(shè)備公司、美國CHA公司、美國AMAT公司、Varian半導體制造設(shè)備公司(被AMAT收購)。

　　國內(nèi)主要品牌：北京儀器廠、中國電子科技集團第四十八所、成都南光實業(yè)股份有限公司、沈陽方基輕工機械有限公司、上海硅拓微電子有限公司。

　　14、探針測試臺

　　設(shè)備功能：通過探針與半導體器件的pad接觸，進行電學測試，檢測半導體的性能指標是否符合設(shè)計性能要求。

　　國際主要品牌：德國Ingun公司、美國QA公司、美國MicroXact公司、韓國Ecopia公司、韓國Leeno公司。

　　國內(nèi)主要品牌：中國電子科技集團第四十五所、北京七星華創(chuàng)電子有限公司、瑞柯儀器、華榮集團、深圳市森美協(xié)爾科技。

　　15、晶片減薄機

　　設(shè)備功能：通過拋磨，把晶片厚度減薄。

　　國際主要品牌：日本DISCO公司、德國G&N公司、日本OKAMOTO公司、以色列Camtek公司。

　　國內(nèi)主要品牌：蘭州蘭新高科技產(chǎn)業(yè)股份有限公司、深圳方達研磨設(shè)備制造有限公司、深圳市金實力精密研磨機器制造有限公司、煒安達研磨設(shè)備有限公司、深圳市華年風科技有限公司。

　　16、晶圓劃片機(DS)

　　設(shè)備功能：把晶圓，切割成小片的Die。

　　國際主要品牌：德國OEG公司、日本DISCO公司。

　　國內(nèi)主要品牌：中國電子科技集團第四十五所、北京科創(chuàng)源光電技術(shù)有限公司、沈陽儀器儀表工藝研究所、西北機器有限公司(原國營西北機械廠709廠)、匯盛電子電子機械設(shè)備公司、蘭州蘭新高科技產(chǎn)業(yè)股份有限公司、大族激光、深圳市紅寶石激光設(shè)備有限公司、武漢三工、珠海萊聯(lián)光電、珠海粵茂科技。

　　17、引線鍵合機(Wire Bonder)

　　設(shè)備功能：把半導體芯片上的Pad與管腳上的Pad，用導電金屬線(金絲)鏈接起來。

　　國際主要品牌：美國奧泰公司、德國TPT公司、奧地利奧地利FK公司、馬來西亞友尼森(UNISEM)公司。

　　國內(nèi)主要品牌：中國電子科技集團第四十五所、北京創(chuàng)世杰科技發(fā)展有限公司、宇芯(成都)集成電路封裝測試有限公司(馬來西亞友尼森投資)、深圳市開玖自動化設(shè)備有限公司。