摘 è¦ï¼šéš¨è‘—微型和密間è·ç‰‡å¼é›»å元件的廣泛應用,電å產å“çš„åˆ¶é€ å•†åœ¨è²¼è£ç²¾åº¦èˆ‡é€Ÿåº¦æ–¹é¢å°è²¼ç‰‡æ©Ÿæå‡ºäº†æ›´é«˜çš„è¦æ±‚ã€‚å› æ¤ï¼Œæ©Ÿå™¨è¦–覺系統在貼片機ä¸è¢«æ™®é采用。貼片機視覺系統主è¦å¯¦ç¾å…©é¡žåŠŸèƒ½ï¼šå°PCBæ¿çš„Markè˜åˆ¥ï¼Œå¾žè€Œå¯¦ç¾å標轉æ›ï¼›å°è²¼ç‰‡å…ƒä»¶è˜åˆ¥ã€æª¢æ¸¬ã€å°ä¸ï¼Œå¾žè€Œå¯¦ç¾å…ƒä»¶çš„æ£ç¢ºè²¼è£ã€‚其組æˆå¯ä»¥åˆ†ç‚ºç¡¬ä»¶éƒ¨åˆ†å’Œè»Ÿä»¶éƒ¨åˆ†ã€‚硬件部分的主è¦åŠŸèƒ½æ˜¯ç²å–高質é‡çš„圖åƒï¼›è»Ÿä»¶éƒ¨åˆ†çš„主è¦åŠŸèƒ½æ˜¯å®Œæˆé«˜ç²¾åº¦é«˜é€Ÿåº¦çš„算法。
é—œéµè©žï¼šè¦–覺系統 貼片機 LEDå…‰æº
片機是使用的機械å°ä¸è£ç½®ï¼Œç”±äºŽå…¶ä¸å¯é 和容易æå‚·å…ƒä»¶çš„缺點,ç¾åœ¨å·²ç¶“é到淘汰,目å‰çš„貼片機都使用激光å°ä¸æˆ–視覺å°ä¸ã€‚
é‡å°ç‰‡å¼é›»å元件的管腳越來越密ã€é«”ç©è¶Šä¾†è¶Šå°çš„ç™¼å±•è¶¨å‹¢ï¼Œè¦æƒ³ç²¾ç¢ºåœ°è²¼è£å°±å¿…é ˆè€ƒæ…®å¦‚ä¸‹å› ç´ ï¼šï¼ˆ1)PCBæ¿çš„定ä½èª¤å·®ï¼›ï¼ˆ2)元器件的定心誤差:(3)貼片機本身的é‹å‹•誤差。如果將影響貼è£ç²¾åº¦çš„é€™äº›å› ç´ ç´¯ç©åœ¨ä¸€èµ·ï¼Œå°±é›£ä»¥å¯¦ç¾å°ç´°é–“è·å…ƒå™¨ä»¶çš„精確貼è£ã€‚單純地用機械方å¼å°PCBæ¿å®šä½å’Œå°å…ƒå™¨ä»¶å®šå¿ƒï¼Œä¸èƒ½æ»¿è¶³è²¼è£ç´°é–“è·å…ƒå™¨ä»¶çš„ç²¾åº¦è¦æ±‚。å¦å¤–,雖然貼è£èª¤å·®èˆ‡æ©Ÿå™¨æœ¬èº«çš„é‹å‹•誤差緊密相關,但是,å³ä½¿æ©Ÿå™¨æœ¬èº«çš„é‹å‹•精度å†é«˜ï¼Œä¹Ÿé›£ä»¥ä¿è‰è²¼è£ç´°é–“è·å…ƒå™¨ä»¶çš„ç²¾åº¦è¦æ±‚。幾年å‰ï¼Œè¡Œæ¥å…§å¯æŽ¥å—的精度標準還是0.1 mm(chip元件)和0.05mm(密間è·å…ƒä»¶ï¼‰?,F在,這個標準已經縮減到0.05mm(chip元件)和0.025mm(密間è·å…ƒä»¶ï¼‰çš„è¶¨å‹¢ã€‚å› æ¤ï¼Œå¿…é ˆä½¿ç”¨æ©Ÿå™¨è¦–è¦ºç³»çµ±ï¼Œæ‰èƒ½å¯¦ç¾é€™æ¨£é«˜çš„ç²¾åº¦è¦æ±‚。
1 貼片機視覺系統
1.1 貼片機視覺系統的硬件組æˆ
視覺系統硬件主è¦ç”±ï¼šå‹•æ”åƒæ©Ÿã€éœæ”åƒæ©Ÿã€LEDå…‰æºã€åœ–åƒé‡‡é›†å¡å’Œå·¥æ¥PC組æˆã€‚éœæ”åƒæ©Ÿç”¨äºŽå…ƒä»¶çš„è˜åˆ¥ã€æª¢æ¸¬ã€å°ä¸ã€‚å‹•æ”åƒæ©Ÿèˆ‡è²¼è£é 本體è¯å‹•用于å¸ç¿’元器件的貼放ä½ç½®å’Œå–æ–™ä½ç½®ï¼Œæª¢æŸ¥è²¼è£æ•ˆæžœæˆ–質é‡ã€‚æ”åƒæ©Ÿå°‡ç²å–的圖åƒå‚³é€åˆ°é‡‡é›†å¡ï¼Œç”±å·¥æ¥PC控制圖åƒé‡‡é›†å¡å®Œæˆåœ–åƒé‡‡é›†ï¼Œå¹¶å°‡è¦–é »ä¿¡è™Ÿèˆ‡å·¥æ¥PCè¼¸å‡ºçš„è¦–é »åˆæˆåŽé€åˆ°é¡¯ç¤ºå™¨é¡¯ç¤ºã€‚圖1ç‚ºè²¼ç‰‡æ©Ÿçš„çµæ§‹åœ–,圖2ç‚ºè²¼ç‰‡æ©Ÿè¦–è¦ºç³»çµ±çš„çµæ§‹åœ–。
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圖åƒé‡‡é›†å¡æ•ç²çš„çž¬é–“å‹•æ…‹åœ–åƒæ•¸æ“šç”±å·¥æ¥PCåšè™•ç†åŽè¿”å›žçµæžœçµ¦ä¸»æŽ§ç¨‹åºï¼Œå®Œæˆå…¶å®ƒç›¸æ‡‰çš„æŽ§åˆ¶éŽç¨‹ã€‚
1.2 視覺系統功能
視覺系統的功能包括兩類:生產功能和標定功能,具體內容見表1和表2。
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1.3 視覺系統的工作æµç¨‹åœ–
軟件執行éŽç¨‹ä¸çš„æ•¸æ“šæºæ˜¯ç‰‡å¼é›»å元件的數據庫和PCBæ¿çš„PIK文件(以Protelè¨è¨ˆç‚ºä¾‹ï¼‰ã€‚元件數據庫ä¸åŒ…å«äº†å…ƒä»¶çš„æ‰€æœ‰ç‰¹å¾æè¿°å€¼ï¼›PIK文件ä¸åŒ…å«äº†è²¼è£å…ƒä»¶åœ¨PCBæ¿ä¸Šçš„忍™å€¼ã€‚圖3是å°å…ƒä»¶ä¸€æ¬¡è²¼è£æ“作的æµç¨‹åœ–,功能是完æˆå°ä¸€å€‹å…ƒä»¶çš„判定ã€è˜åˆ¥èˆ‡å°ä¸ã€‚
2 視覺系統的è¨è¨ˆèˆ‡é¸åž‹
2.1 LEDå…‰æºçš„è¨è¨ˆ
隨著光刻技術的發展,表é¢è²¼è£æŠ€è¡“以åŠè²¼è£å…ƒä»¶çš„å°è£æŠ€è¡“也迅速發展,貼片元件的å°è£ç¨®é¡žé”è¬ç¨®ä»¥ä¸Šã€‚全視覺貼片機通éŽè¦–覺系統å°è²¼ç‰‡å…ƒä»¶é€²è¡Œè˜åˆ¥ã€æª¢æ¸¬èˆ‡å°ä¸ï¼Œæ ¹æ“šå°è£å½¢å¼èˆ‡è¦–覺算法å¯å°‡è²¼ç‰‡å…ƒä»¶åˆ†ç‚ºChipã€SOICã€QFPã€BGAã€ODD5種類型。
如果采用單一類型的LEDå…‰æºæ˜¯å¾ˆé›£ç²å¾—高質é‡åœ–åƒçš„,將多種類型的LEDå…‰æºçµ„åˆå¹¶é€šéŽè¨ˆç®—機控制,å¯ä»¥é«˜é€Ÿã€æº–確地采集高質é‡çš„圖åƒï¼Œå¾žè€Œå®Œæˆå¿«é€Ÿçš„è²¼è£éŽç¨‹ã€‚組åˆå…‰æºç”±3個å¯ä»¥ç¨ç«‹æŽ§åˆ¶çš„å…‰æºï¼šä½Žè§’度光æºã€å´å…‰æºå’ŒåŒè»¸å…‰æºçµ„æˆã€‚
由于é¸ç”¨é»‘白的æ”åƒæ©Ÿï¼Œæ‰€ä»¥LED發光二極管é¸ç”¨ç´…色ã€é«˜äº®åº¦åž‹ã€‚表3為元器件與光æºçš„å°æ‡‰é—œç³»

2.2視覺系統硬件集æˆ
(1ï¼‰é¸æ“‡CCDæ‡‰ç•¶è€ƒæ…®ä»¥ä¸‹å› ç´ ï¼šé‡‡ç”¨éš”è¡Œæˆ–é€è¡ŒæŽƒæã€å¹€å‚³è¼¸é€Ÿçއã€åˆ†è¾¨çއã€ç¨®åŒæ¥æ–¹å¼ã€åƒç´ 顆粒大å°é€ æˆçš„é›»è·æº¢å‡ºã€å¹€å ´å‚³è¼¸é–“éš”ã€é›»åå¿«é–€ã€æœ€ä½Žç…§åº¦ã€ä¿¡å™ªæ¯”ã€æ˜¯å¦å…·æœ‰å¢žç›Šç‰ã€‚
æ ¹æ“šè²¼è£é€Ÿåº¦çš„è¦æ±‚,在ä¸é€Ÿè²¼ç‰‡æ©Ÿä¸å¯ä»¥é¸ç”¨éš”行掃æçš„CCD,尺寸大å°ç‚º6.4mm×4.8mm,分率辨為768H×494V,電åå¿«é–€å¯é”1ï¼10000s,最低照度å¯é”0.1lx,信噪比(Sï¼N)為56dB。
(2ï¼‰é¸æ“‡é¡é æ‡‰ç•¶åœ¨ç¢ºå®šå·¥ä½œåƒæ•¸çš„æƒ…æ³ä¸‹å’ŒCCD相匹é…。需è¦ç¢ºå®šä»¥ä¸‹ä¸»è¦å·¥ä½œåƒæ•¸ï¼šæ”åƒæ©Ÿçš„工作è·é›¢ã€è¦–å ´å¤§å°ä»¥åŠé¡é æœ¬èº«æ€§èƒ½åƒæ•¸å¯ä»¥èª¿ç¯€çš„范åœç‰ã€‚å‹•ã€éœæ”åƒæ©Ÿçš„工作è·é›¢åˆ†åˆ¥ç‚º50-100mmå’Œ100-200mmï¼Œå…¶å°æ‡‰çš„è¦–å ´åˆ†åˆ¥ç‚º20mm×20mmå’Œ55mm×55mm。利用以下兩個公å¼å¯ä»¥ç®—出é¡é 焦è·ã€‚

é¡é 的本身性能ç†è«–上講應當是越高越好,å³ä½Žç•¸è®Šï¼ˆ<0.1%),大光圈(å¯é”1.4),å¯ä»¥æ‰‹å‹•調焦,還應考慮是å¦ç‚º6.4mm×4.8mmçš„é¡é ,是å¦ç‚ºC接å£ç‰åŒ¹é…å•題。
(3)LED燈也è¦å’Œé¡é 相匹é…,尤其在貼片機的動燈上尤為明顯,這是由于光滑的PCBæ¿åå…‰é€ æˆçš„。ç†è«–ä¸Šï¼Œå‹•ç‡ˆæœ€å…§åœˆçš„ç›´å¾‘æœ‰å¤šå¤§ï¼Œå…¶æ˜ å½±ç”¢ç”Ÿå°±æœ‰å¤šå¤§ï¼Œå› æ¤ä½¿æ”åƒé è¦–å ´åœ¨ç‡ˆç›´å¾‘ä¹‹å…§ï¼Œå¯ä»¥é¿å…æ˜ å½±åœ¨åœ–åƒä¸å‘ˆç¾ã€‚
如圖4所示,如果在θ′范åœå…§ï¼Œæ˜ 影處于所æ”的圖åƒä¹‹å¤–,å³é”到了所能照射的最大å€åŸŸï¼šå¦‚æžœæ”åƒé çš„è¦–å ´å†å¤§äº›ï¼Œé”到θ′包åœå€åŸŸï¼Œç‡ˆç½©æ“‹ä½äº†éƒ¨åˆ†åœ–åƒï¼›å¦‚果把æ”åƒé 調低,é”到夕包åœå€åŸŸï¼Œæ˜ 影處于圖åƒä¸ã€‚ æ ¹æ“šä»¥ä¸Šçš„åˆ†æžï¼Œå¯ä»¥ç¢ºå®šå‹•ã€éœæ”åƒé çš„çµæ§‹å®‰è£èˆ‡èª¿æ•´åƒæ•¸å€¼ï¼Œè¦‹è¡¨4所示。其安è£çµæ§‹è¦‹åœ–5所示。
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(4)圖åƒå¡èˆ‡CCD的匹é…
圖åƒå¡çš„é¸é…應該考慮以下功能:數å—和模擬信號處ç†ï¼Œæ¨™æº–å’Œéžæ¨™æº–信號處ç†ï¼Œé€è¡Œå’Œéš”行信號處ç†ï¼Œå¤šé€šé“和單通é“處ç†ï¼Œå½©è‰²å’Œé»‘白信號處ç†ï¼Œè»Ÿä»¶åŒ¹é…ç‰å•題。
在ä¸é€Ÿè²¼ç‰‡æ©Ÿä¸ï¼Œå¯ä»¥é‡‡ç”¨å…·æœ‰æ•¸å—ã€æ¨™æº–ã€éš”行ã€å¤šé€šé“和黑白信號處ç†åŠŸèƒ½çš„åœ–åƒå¡ã€‚鏿“‡VC++為開發平臺,自主開發視覺程åºã€‚
3 è¦–è¦ºç³»çµ±çš„åœ–åƒæ”å–與處ç†
實驗1:將ä¸åŒç¨®é¡žçš„片å¼é›»å元件å¸å–å¹¶é‹å‹•到æ”åƒé 上方,æ”å–圖åƒå¹¶è¨ˆç®—ä½ç½®èˆ‡è§’度的å差(Δx,Δy,θ),見表6所示。貼è£é 帶著元件分別移動ä½ç½®å’Œæ—‹è½‰è§’度å„20次,計算Δx,Δyï¼ŒÎ¸å€¼ã€‚è¨ˆç®—çµæžœè¡¨æ˜Žï¼šè¨ˆç®—åå·®åŒé‹å‹•çš„é 值誤差å°äºŽ8μm。滿足è¦å®šçš„è¦æ±‚。
實驗2:用光刻的方法制作四角上帶有圓形Mark的玻璃æ¿ï¼ˆå°ºå¯¸ï¼š200×200×3,4個Markçš„ä½ç½®ç²¾åº¦åå·®å°äºŽ5 μm),將元件按ä½ç½®é 值貼è£ï¼Œé‡‡ç”¨å…‰å¸å標測é‡å„€æª¢æ¸¬èˆ‡é 值的åå·®ï¼Œæ¸¬è©¦çµæžœå‡å°äºŽ0.1mm(Chip元件)和0.05mm(密間è·å…ƒä»¶ï¼‰ã€‚
4 çµè«–
(1ï¼‰è©²è¦–è¦ºç³»çµ±èƒ½å¤ æ”å–高質é‡çš„圖åƒï¼Œç³»çµ±ç©©å®šå¯é ï¼›
(2)建立貼片元件的數據庫,在圖åƒè˜åˆ¥éŽç¨‹ä¸ï¼Œå¯æ™‚æ™‚èª¿ç”¨å…ƒå™¨ä»¶çš„åƒæ•¸ï¼Œæ¸›å°‘了圖åƒè˜åˆ¥æ™‚é–“ï¼›
(3ï¼‰æ ¹æ“šå…ƒä»¶çš„åƒæ•¸ï¼Œå¯ä»¥ç²å–å圖åƒï¼Œä½¿åœ–åƒè™•ç†å¿«é€Ÿå¹¶ç°¡å–®ï¼›
(4)貼片元器件與LEDå…‰æºåŒ¹é…,ä¿è‰äº†åœ–åƒçš„質é‡ï¼Œæé«˜äº†è˜åˆ¥çš„速度與精度;
(5)å°äºŽç•°åž‹å…ƒä»¶ï¼Œç”¨æˆ¶å¯ä»¥è‡ªå·±ç·¨ç¨‹è™•ç†ã€‚