敞開式絕對直線光柵尺 LIC 4000

精度高和測量范圍大

應用

• 半導體工業的測量和生產設備

• PCB電路板組裝機

• 測量機

• 直接驅動

特點

• 大測量范圍的絕對位置值

• 高分辨率

• 結構緊湊

• 安裝和診斷簡單

技術參數

• 有絕對刻軌的METALLUR鋼帶

• 分辨率 最小至0.001 µm（1 nm）

• 精度等級 達± 5 µm

• 典型位置誤差

單信號周期內 ± 0.08 µm

• 測量長度 至27 m

• 運動速度 至8 m/s

• 接口 EnDat 2.2