光譜共焦式精密位移測量系統，是利用光譜共焦的原理，超精度測量各種位置的變化。 傳感器探頭由光源 和特殊光學透鏡組構成，透鏡組將光源發射出的多色平行光（白光） 進行光譜分光，形成一系列波長不同的單色光，同時再將其同軸聚 焦，由此在有效量程范圍內形成了一個焦點組，每一個焦點的單色 光波長都對應著一個軸向位置。在被測物體表面聚焦的單色光又被 反射到控制器，利用控制器內的光譜分析儀可確定該反射光的波長， 從而確定了被測物體的位置。其獨特的測量原理，使它無論對漫反 射表面還是鏡面的測量，都可達到納米級的精度。對透明物體，除 精確測量位置位移之外，還可以單方向測量其厚度。 光譜共焦式位移位置測量系統 線性量程: 0.08 / 0.35 / 1 / 3 / 10 / 24 mm 絕對誤差: ≤±0.1 % FSO 分辨率： 0.004 % FSO 測量頻率： 30 /100 / 300 / 1000 Hz（可調） 信號輸出： 數字顯示 及 RS232 光斑直徑： 7 - 100 um 典型應用: - 反射面及透明體的位置和位移測量 - 透明體厚度測量 - 鉆孔深度測量 - 表面輪廓測量