一 簡介 CS-ARS系列角速率傳感器由西安中星測控有限公司自行研制，用來測量角速率的傳感器。它采用進口MEMS芯片，制造采用BIMOS生產工藝和載流焊工藝技術。具有高可靠性和高封裝堅固性,并且具備自檢測（Self-Test）功能,實現BIT檢測。 本產品可用于慣性測量元件、高可靠性的汽車電子、導彈制導和控制、飛行器穩定控制、天線整定、攝像、數碼攝影回轉儀等系統。 二 原理 CS-ARS系列角速率傳感器依據諧振器陀螺原理工作。兩個多晶硅敏感結構，每一個含有一個高頻振動的框架，這個框架被靜電式地驅動而諧振，形成了必要的速度元件。框架的兩個外端組成一個電容敏感結構，以敏感有角速率時產生的科里奧利運動并產生電信號，該電信號被輸送到放大級和解調級，從而輸出正比于角速率的電信號。