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海德漢 LIF 400 V系列 真空應用的增量式直線光柵尺
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LIF 400 V系列
真空應用的增量式直線光柵尺
高精度直線軸，長度可達1640 mm
極小測量步距(<2 nm)
限位開關回零軌的位置檢測
接口：1 VPP，TTL
支持真空應用的PCB電路板、涂層和粘結劑，釋氣更少
快速抽真空的通氣孔
溫度穩定性高，支持高烘烤溫度
非鐵磁材料，過程可靠性高
包裝前烘烤，潔凈度高
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