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1.實現(xiàn)大行程納米定位
2.高分辨率（1納米），重復(fù)定位精度（75納米），定位精度（250納米）
3.1納米的位置穩(wěn)定性
4.抗爬行十字交叉滾珠軸承
5.高動態(tài)特性
6.8種行程和精度范圍可選
2.高分辨率（1納米），重復(fù)定位精度（75納米），定位精度（250納米）
3.1納米的位置穩(wěn)定性
4.抗爬行十字交叉滾珠軸承
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6.8種行程和精度范圍可選
1.大行程實現(xiàn)納米定位
2.高分辨率（2納米），重復(fù)定位精度（75納米），定位精度（300納米）
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2.高分辨率（2納米），重復(fù)定位精度（75納米），定位精度（300納米）
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