SUNX發布通過流量差檢測微小壓力變動的傳感器
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日本神視(SUNX)推出了通過流量變化來檢測壓力變動的傳感器“數字流量傳感器FM-100”系列產品。之所以采用檢測流量變化來檢測壓力,是因為流量的變化量要大于壓力的變化量,更容易檢測的緣故。能夠高精度地檢測以前的壓力傳感器難以察覺的微小壓力變動。適用于自動組裝設備、電子部件制造裝置以及半導體制造裝置。
外形尺寸方面,口徑4mm的型號為17×37×55mm。重量約為70g。雖然體型小巧,但借助白金芯片以及新機構的整流方式,能夠實現高精度檢測。線性為±5%F.S.。可用于無論正壓或負壓的吹洗氣體管理以及吸附管理。
適用流體方面,除了符合JIS B 8392-1.1.2~5.6.2標準的清潔空氣之外,還有符合JIS B 8392-1.1.2~1.6.2標準的壓縮空氣、氮氣。此次產品種類共有從額定流量范圍為50m~500mL/分的“FM-152-4”直至10~100L/分的“FM-115-AR4”等7種型號。

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