電液伺服閥是在二戰期間由于飛行器等軍事裝備對控制系統快速性動態精度的更高要求而發展起來的,并在戰后逐漸用于民用和工業設備。它是一種接受模擬量電控制信號,輸出隨電控信號大小和極性變化、且快速響應的模擬量流量和(或)壓力的液壓控制閥。根據其液壓放大器的不同,主要分為噴嘴擋板式伺服閥和射流管式伺服閥。電液伺服閥具有體積小,功率放大率高、直線性好、響應速度快、運動平穩可靠,能適應模擬量和數字量調節等優點,在各種電液伺服系統中得到特別的重視。
電液比例閥,是針對伺服控制存在的諸如功率損失大、對液壓過濾要求高、制造和維護費用高、而它提供的快速響應性在一般工業設備中又往往用不著的情況,是在傳統開關閥的基礎上發展起來的。電液比例閥可以根據輸入電氣信號,按比例對工作油液的壓力、流量和方向進行控制。
比例閥發展的初期階段,僅是將比例電磁鐵代替普通液壓閥的開關型電磁鐵或調節手柄,工作頻寬小,穩態滯環大,只能用于開環系統。20世紀70年代中期至80年代初,比例閥開始采用各種內反饋原理,耐高壓、比例電磁鐵和比例放大器技術日趨成熟。閥的工作頻寬達到5 ～10 Hz,穩態滯環降低到3%左右。
80年代后,比例閥在設計上采用了壓力、流量、位移內反饋及電校正等手段,使閥的穩態精度、動態響應和穩定性都有了進一步提高。除了中位仍有部分死區外,其控制性能與伺服閥更為接近。
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