氣浮轉臺的原理及特點
氣浮轉臺是一種集成了直驅電機、編碼器、采用氣浮軸承來實現旋轉運動的產品。它通過向軸承腔體輸入壓縮空氣,由節流高壓空氣產生的氣膜將工件支撐起來,氣膜具有一定剛性及負載能力,從而支撐轉臺臺面懸浮及旋轉運動,同時保障軸系的軸向、徑向跳動精度。相比于傳統的機械轉臺,它具有更高的穩定性和更精確的定位精度。
以下是某種氣浮軸承的原理示意圖。通過外部氣源供給壓力,氣體經過節流器進入軸承間隙,然后連續地從軸承外緣排入大氣。
雅科貝思氣浮轉臺
雅科貝思已推出標準品AAR200-A氣浮轉臺,臺面直徑為200mm,總高度90mm。其“矮胖”的身材可以有效降低系統的高度,并且盡可能減少堆疊誤差,中孔設計方便線纜或真空管道通過。
經過測試該轉臺具有低速度波動,優秀的軸系回轉精度以及非常好的的定位精度。
雅科貝思氣浮轉臺的優點與應用場景
01、采用氣體靜壓氣浮技術,和動壓技術比,它承載力和剛度更大,穩定性更易控制。
02、氣浮軸承的氣體粘度低、摩阻低、振動噪音小。
03、氣浮軸承無需潤滑油,實現了免維護,并且 清潔無污染、壽命久。
04、氣浮轉臺通常采用無鐵芯直驅旋轉電機,因此無齒槽效應,能實現高定位精度、運行阻尼小、高速度穩定性等特點。
05、軸系的軸向和徑向回轉精度可達到納米級別,同時具有非常優秀的絕對定位精度和重復定位精度。
應用場景:
光 學
光學檢測、光通信、光學對準、激光精密加工
測 量
三坐標檢測儀、測角儀、柱狀體三維形貌檢測、偏心儀、圓度儀
裝 配
精密同心裝配、裝夾
晶圓檢測、晶圓對準、研磨機/減薄機
其 他
科研院校
針對不同應用領域和客戶需求,我們還將陸續推出其他標準型號,同時也可接受客戶定制需求。
高精密氣浮轉臺以其高穩定性、高精度、低維護等優點,正成為精密測量和精密加工領域的重要選擇。雅科貝思氣浮轉臺更是憑借其卓越的性能和應用廣泛的標準品以及靈活的定制服務,贏得了客戶的廣泛認可。
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